Plasmacleaner Tetra 30 gebraucht
Gebrauchte Plasmaanlage Tetra 30 für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme

Plasmaanlage Tetra 30 LF gebraucht

Technische Daten

Gehäuse
B 570 mm, H 730 mm, T 570 mm

Kammer
Edelstahl rechteckig
Tür mit Scharnier
(ca. B 300 mm, H 290 mm, T 370 mm)

Kammervolumen
ca. 32 Liter

Gaszuführung
über Mass-Flow-Controller (MFCs)

Generator
1 Stück (40 kHz)

Steuerung
PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)