Pompe da vuoto

 

Quali sono le pompe da vuoto più spesso utilizzate nella tecnologia al plasma?

Le pompe da vuoto sono utilizzate per generare il vuoto nella camera a vuoto del sistema plasma. Le pompe per vuoto più comunemente usati nella tecnologia al plasma sono i seguenti:

1. Pompe a palette

La pompa a palette è costituita da un alloggiamento all'interno del quale un rotore ruota eccentricamente. In questo alloggiamento, le alette vengono caricate da molle, che vengono premute e scorrono lungo la parete interna dell'alloggiamento. Il gas intrappolato in aspirazione è compresso fino a superare la pressione ambiente e quindi la valvola di scarico si apre verso il lato ad alta pressione.

La pompa funziona in un bagno d'olio. Ciò presenta i seguenti vantaggi:

  • sigillatura del lato di aspirazione e ad alta pressione
  • riduzione dell'attrito

Le pompe a palette rotanti sono utilizzate in particolare per i nostri sistemi standard. Più grande è la pompa, più breve è il tempo di processo.

Se devono essere utilizzate con l'ossigeno, le pompe devono essere preparate adeguatamente. Nel corpo della pompa si forma nebbia d'olio. Quando si usa l'olio minerale, la nebbia derivata in combinazione con l'ossigeno puro crea un ambiente esplosivo.

Ci sono due modi per risolvere questo problema:

1. Le pompe sono riempite con olio PFPE. Questo olio è incombustibile. Ma questa soluzione ha alcuni gravi inconvenienti:

  • l'olio PFPE è estremamente costoso
  • l'olio PFPE contiene fluoro. Nei processi di plasma, questo olio può scomporrsi e possono formarsi dei composti estremamente tossici (ad es. perfluoroisobutene). Degli incidenti molto pericolosi si sono già verificati a causa di questo composto d'olio.
  • l'olio PFPE deve essere smaltito come rifiuto pericoloso.

2. Pompa con funzionamento a secco per i processi con gas corrosivi

Qui abbiamo avuto un'ottima esperienza con le cosiddette "pompe per vuoto a vite a secco" da Busch (ad esempio modello Cobra) e Edwards.

3. Pompe da vuoto roots

La pressione che può essere generata con una pompa a palette è limitata. Per rafforzare l'aspirazione si consiglia la combinazione con una pompa da vuoto roots. Queste formano un cosiddetto supporto da pompa. Una combinazione tipica è composta come segue:

1. La prima pompa (ad esempio una pompa a palette) produce un vuoto iniziale. Viene indicata come una "pre-pompa".

2. Una pompa da vuoto roots viene utilizzata come una seconda pompa.

Saremo lieti di consigliarvi la pompa più appropriata per i vostri processi.