Parylene P 260

Materiale di rivestimento:Parylene N, C, D, F-VT4, F-AF4

Spessore possibile:0,05 fino a 100 micrometri

Dimensioni:

Larghezza: cca. 2600 mm                      

Profondità: cca. 1000 mm

Altezza: cca. 2000 mm

Pirolisi:4 kW / max 850 °C

Iniezione di gas:Sistema di distribuzione omogenea

Interno camera P260

Camera:
Diametro: 640 mm     
Altezza: 800 mm

Carosello:
Diametro: 560 mm          
Altezza: 650 mm

Trappola fredda: azoto liquido

Sistema di pompaggio:
Pompa rotativa a due stadi
Capacità 1800 m3/h

Pressione finale:
1 x 10-3 mbar

Controllo:
Controllo basato su PC con sistema operativo Windows

Connettori:
3 fasi / 400 V / 32 A / 50-60 Hz

Aria compressa:
da 6 bar secca e priva d'olio

Aria di scarico:
tubo da 42 mm

Opzioni: mantello riscaldante per migliorare la deposizione di parylene D, scambiatore di calore per migliorare la deposizione di parylene N e generatore LF F per il pretrattamento , sistema di evaporazione silano, spessimetro di rivestimento