Sistema al plasma a bassa pressione Tetra 150 PC / PCCE

Sistema al plasma Tetra 150 (esempio)

I sistemi al plasma Tetra 100 possono essere combinati in un sistema modulare in diverse varianti. Di seguito viene fornita una panoramica delle opzioni più comuni per i sistemi di plasma Tetra 100. I sistemi al plasma Tetra 100 sono utilizzati principalmente nei seguenti settori:

  • Analitica (SEM e TEM)
  • Archeologia
  • Settore automotive
  • Biotecnologia
  • Tecnica degli elastomer
  • Elettrotecnica
  • Microscopia elettronica
  • Tecnologia di produzione su piccola scala
  • Ricerca e sviluppo
  • Tecnica dei semiconduttori
  • Tecnologia di precisione
  • Tecnologia delle materie plastiche
  • Tecnica medicale
  • Microsistemi
  • Tecnologia solare
  • Ingegneria tessile

Per informazioni chiamateci al numero: +39 02 / 36714100

 

Richidere informazioni

Attrezzatura di base

  • Gli alloggiamenti variano a seconda dei componenti/delle opzioni
  • Volume della camera: a seconda della versione 150 litri
  • Alimentazione: 230 V per il dispositivo piccolo, 400 V/3 fasi per il dispositivo grande

Erogazione del gas

  • Mass-Flow-Controller (MFC)

Camere da vuoto

 

  • Acciaio inossidabile, rettangolare, porta a battente(cca. L 400 mm x A 600 mm x P 625 mm)

Caricamento

  • Portacampioni (opzione: raffreddato ad acqua), vassoio in quarzo, tamburo rotante per polveri, tamburo rotante per pezzi sfusi, lamiera di alluminio, lamiera di acciaio inossidabile, vetro borosilicato, quarzo

Elettrodi

  • A singolo o pluristrato
  • Elettrodi RIE con ugello gas

Controlli

  • Controllo PCCE (Microsoft Windows CE)
  • Controllo PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Misurazione della pressione

  • Pirani
  • Baratron (per versione con gas corrosivi)

Timer 

  • Digitale

Generatori

Frequenze:40 kHz: Potenza 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W
13,56 MHz: Potenza 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W
2,45 GHz: Potenza 0 - 1200 W

Tutti i generatori sono regolabili in modo continuo nell'intervallo 0 - 100%.

Pompe da vuoto

  • In vari formati da produttori diversi (su richiesta con filtri a carbonio attivo)

Altre opzioni

Pezzi di ricambio kit, Manometri, Protezione contro i gas corrosivi, Bombole a gas, Riduttore di pressione, Piastre riscaldanti, Indicatore di temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia di Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Set per test a inchiostro, Generatore d'ossigeno, Aerazione lenta della camera del vuoto, Evacuazione lenta della camera del vuoto, Portapezzi TEM, Contratto di manutenzione per il Vostro impianto al plasma, Documentazione nella lingua del paese di utilizzo, Installazione dell'impianto al plasma in loco. Altre informazioni su richiesta.