Sistema al plasma DLC

DLC è un sistema di rivestimento DLC che è disponibile in diverse versioni.

Tipo impianto: Tetra 30 RF PC

Alloggiamento: B 600, H 2100 T 800

Camera: B 305, H 305 T 360

Volume camera: ca. 34L

Controllo: Controllo PC, manutenzione a distanza possibile

Fornitura di gas: tramite regolatori di flusso di massa (MFC)

Generatore: Generatore RF con 13,56 MHz con fino a 1000 watt, Abbinamento automatico

Riscaldamento: Camera di riscaldamento e tubo di riscaldamento fino a 80 °C

Pompa a vuoto: pompa iH1800 + pHMB2400 con aspirazione 4200 m³/h

Raffreddamento ad acqua: Rehsler TAE EVO 020 con potenza 3,8kW

Misurazione della pressione: Baratron