Sistema al plasma a bassa pressione Nano

I sistemi al plasma Nano possono essere combinati in un sistema modulare in diverse varianti. Di seguito viene fornita una panoramica delle opzioni più comuni per i sistemi di plasma Nano. I sistemi al plasma Nano sono utilizzati principalmente nei seguenti settori:

  • Analitica
  • Archeologia
  • Settore automotive
  • Ricerca e sviluppo
  • Tecnica dei semiconduttori
  • Medicina
  • Tecnologia di produzione su piccola scala
  • Tecnologia delle materie plastiche
  • Microsistemi
  • Sensori
  • Sterilizzazione
  • Ingegneria tessile

Per informazioni chiamateci al numero: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0

 

Richiedere informazioni

Camere da vuoto

  • Gli alloggiamenti variano a seconda dei componenti/delle opzioni
  • Volume della camera: a seconda della versione 18 - 36 litri
  • Alimentazione: 230 V per il dispositivo piccolo, 400 V/3 fasi per il dispositivo grande

Erogazione del gas

  • Valvola a spillo
  • Mass-Flow-Controller (MFC)

 

Camere da vuoto

 

  • Acciaio inossidabile, rotonda con coperchio(cca. ∅ 267 mm, L 420 mm o L 600 mm) o
  • Acciaio inossidabile, rettangolare, porta a battente(cca. L 240 mm x A 240 mm x P 420 mm o 600 mm)
  • Alluminio, rotonda con coperchio o porta a battente(cca. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)
  • Quarzo (UHP) rotonda con coperchio o porta a battente(cca. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)
  • Vetro borosilicato (UHP) rotonda con coperchio o porta a battente(cca. ∅ 240 mm, L 400 mm o L 600 mm)

Caricamento

  • Portacampioni (opzione: raffreddato ad acqua), vassoio in quarzo, tamburo rotante per polveri, tamburo rotante per pezzi sfusi, lamiera di alluminio, lamiera di acciaio inossidabile, vetro borosilicato, quarzo

Elettrodi

  • A singolo o pluristrato
  • RIE

Controlli

  • Semi-automatico
  • Controllo PCCE (Microsoft Windows CE)
  • Controllo PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Misurazione della pressione

  • Pirani
  • Baratron (per versione con gas corrosivi)

Timer 

  • Digitale

Generatori

Frequenze:40 kHz: Potenza 0 - 300 W; 0 - 1000 W
13,56 MHz: Potenza 0 - 100 W; 0 - 300 W
2,45 GHz: Potenza 0 - 600 W

Pompe da vuoto

  • In vari formati da produttori diversi (su richiesta con filtri a carbonio attivo)

Altre opzioni

Pezzi di ricambio kit, Manometri, Protezione contro i gas corrosivi, Bombole a gas, Riduttore di pressione, Piastre riscaldanti, Indicatore di temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia di Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Set per test a inchiostro, Generatore d'ossigeno, Aerazione lenta della camera del vuoto , Evacuazione lenta della camera del vuoto , Portapezzi TEM, Contratto di manutenzione per il Vostro impianto al plasma, Documentazione nella lingua del paese di utilizzo , Installazione dell'impianto al plasma in loco . Altre informazioni su richiesta.