Sistema al plasma a bassa pressione (plasmacleaner) di tipo Femto

Bei diesem Bild handelt es sich um eine 360°-Aufnahme. Durch klicken und ziehen mit der Maus sowie benutzen der Steuerelemente lässt sich das Bild beliebig drehen und vergrößern. Aufgrund der hohen Datenmenge kann sich unter Umständen eine kleine Ladeverzögerung einstellen.

I sistemi al plasma Femto possono essere combinati in un sistema modulare in diverse varianti. Di seguito viene fornita una panoramica delle opzioni più comuni per i sistemi di plasma Femto. I sistemi al plasma Femto sono utilizzati principalmente nei seguenti settori:

  • Analitica
  • Archeologia
  • Settore automotive
  • Ricerca e sviluppo
  • Tecnica dei semiconduttori
  • Medizin
  • Tecnologia di produzione su piccola scala
  • Tecnologia delle materie plastiche
  • Microsistemi
  • Sensori
  • Sterilizzazione
  • Ingegneria tessile

Per informazioni chiamateci al numero: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0 

 

Attrezzatura di base

  • Gli alloggiamenti variano a seconda dei componenti/delle opzioni
  • Volume della camera: a seconda della versione 1,9 - 6 litri
  • Alimentazione: 230 V per il dispositivo piccolo, 400 V/3 fasi per il dispositivo grande

Erogazione del gas

  • Valvola a spillo
  • Mass-Flow-Controller (MFC)

Camere da vuoto

  • Acciaio inossidabile, rotonda con coperchio(cca. ∅ 100 mm, L 278 mm o L 600 mm)
  • Acciaio inossidabile, rettangolare, porta a battente(cca. L 103 x P 285 x A 103)
  • Alluminio, rotonda con coperchio o porta a battente(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)
  • Quarzo (UHP) rotonda con coperchio o porta a battente(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)
  • Vetro borosilicato (UHP) rotonda con coperchio o porta a battente(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm o L 600 mm)

Caricamento

  • Portacampioni (opzione: raffreddato ad acqua), vassoio in quarzo, tamburo rotante per polveri, tamburo rotante per pezzi sfusi, lamiera di alluminio, lamiera di acciaio inossidabile, vetro borosilicato, quarzo

Elettrodi

  • A singolo o pluristrato
  • RIE

Controlli

  • Semi-automatico
  • Controllo PCCE (Microsoft Windows CE)
  • Controllo PC (Microsoft Windows POS Ready 2009

Misurazione della pressione

  • Pirani
  • Baratron (per versione con gas corrosivi)

Timer 

  • Digitale

Generatori

Frequenze:40 kHz: Potenza 0 - 100 W; 0 - 1000 W
13,56 MHz: Potenza 0 - 50 W; 0 - 300 W
12,45 GHz: Potenza 0 - 100 W; 0 - 300 W

tutti i generatori sono regolabili in modo continuo nell'intervallo 0 - 100%.

Pompe da vuoto

  • In vari formati da produttori diversi (su richiesta con filtri a carbonio attivo)

Altre opzioni

Pezzi di ricambio kit, Manometri, Protezione contro i gas corrosivi, Bombole a gas, Riduttore di pressione, Piastre riscaldanti, Indicatore di temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia di Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Set per test a inchiostro, Generatore d'ossigeno, Aerazione lenta della camera del vuoto , Evacuazione lenta della camera del vuoto , Portapezzi TEM, Contratto di manutenzione per il Vostro impianto al plasma, Documentazione nella lingua del paese di utilizzo , Installazione dell'impianto al plasma in loco . Altre informazioni su richiesta.