Forschungsanlage Plasma System Bell Jar 35

Il Bell Jar 35 è un sistema al plasma da laboratorio sviluppato per esperimenti scientifici. Il sistema puà essere usato per vaporizzazione termica, sputtering, vaporizzazione con electron beam, coating metallico per preparazione SEM (microscopio elettronico a scansione) come pure per processi al plasma tradizionali Contattaci! Saremo lieti di fornire maggiori dettagli.

Tel.: +39 3931415400 oppure +49 (0) 7458 - 999 31 - 0

Configurazione base

  • Alloggiamento cca. L 560 mm x A 1640 mm x P 620 mm
  • Volume della camera: cca. 35 litri
  • Alimentazione: 230 V / 16 A

Erogazione del gas

  • 3 pezzi Mass-Flow-Controller (MFC)

Camera da vuoto

  • Campana in vetro borosilicato∅ 315 mm x A 500 mm

Sorgente di sputtering

  • 1 sorgente di sputtering 2" - 3" + otturatore(l'equipaggiamento gas per processi reattivi è opzionale)

Supporti per substrati

  • ∅ 140 mm (supporto riscaldante rotante,   raffreddamento substrato opzionale)
  • Commutabile come in modalità elettrodo per pre-trattamento al   plasma (pulizia, attivazione, etching)

Controllo

  • Comando PC (Microsoft Windows XPe)

Misurazione della pressione

  • Pirani

Generatori 

Frequenze:40 kHz: Potenza 0 - 500 W
13,56 MHz: Potenza 0 - 300 W

Sorgente di tensione bias c.c. o pulsata unipolare.

Potenza max. 300 WTensione max. 600 V c.c.

Tutti i generatori sono continuamente regolabile da 0 - 100%.

Pompe da vuoto

  • In vari formati da produttori diversi (su richiesta con filtri a carbonio attivo)

Altre opzioni

Pezzi di ricambio kit, Manometri, Protezione contro i gas corrosivi, Bombole a gas, Riduttore di pressione, Piastre riscaldanti, Indicatore di temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia di Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Set per test a inchiostro, Generatore d'ossigeno, Aerazione lenta della camera del vuoto , Evacuazione lenta della camera del vuoto , Portapezzi TEM, Contratto di manutenzione per il Vostro impianto al plasma, Documentazione nella lingua del paese di utilizzo , Installazione dell'impianto al plasma in loco . Altre informazioni su richiesta.