Sistema Atto a basso costo

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L'impianto da laboratorio al plasma ATTO da 10,5 litri con controllo semiautomatico viene impiegato prevalentemente nei seguenti settori:

  • analitica (SEM, TEM)
  • tecnica medica
  • sterilizzazione
  • ricerca e sviluppo
  • archeologia
  • tecnica tessile tecnica dei semiconduttori
  • tecnica delle materie plastiche

Contattateci al numero: +39 334 / 6753823

 

 

Caratteristiche tecnica: Plasma cleaner Atto con controllo manuale

Alloggiamento:

largh.  425 mm, alt. 275 mm, prof. 450 mm

Camera: vetro, Ø 211 mm, lungh 300 mm

Volume della camera: ca. 10,5 Litri

Alimentazione gas: 2 canali con valvola a spillo

Generatore: 40kHz/200W o 13,56 MHz/ 300W

Pompa da vuoto: Aspirazione: 2 m³/h

Sistema di caricamento: Vassoio 1 pz.

Sistema di controllo: manuale, tempo di processo regolato da temporizzatore analogico

Sistema al plasma Atto con controllo esterno PC, sistema di pulizia al plasma, plasma cleaner, plasma etcher, attivazione al plasma per sviluppo di processo, pulizia, attivazione, etching in serie di picolle dimensioni - sistema al plasma

 

Dati tecnici: Sistema di pulizia al plasma Atto con controllo esterno PC

Alloggiamento: l 525 mm, A 275 mm, P 450 mm

Camera: in vetro, ∅ 211 mm, L 300 mm

Volume della camera: cca. 10,5 litri

Alimentazione gas: 2 canali di gas con MFC

Generatore: 40 kHz / 200 W o 13,56 MHz / 300 W accoppiamento fisso

Pompa di vuoto: aspirazione: 2 m3/h

Sistema di caricamento: vassoio 1 pz.

Sistema di controllo: controllo PC (Microsoft Windows XP)

Sistema al plasma low cost Atto con controllo PC integrato, sistema di pulizia al plasma, plasma cleaner, plasma etcher, attivazione al plasma per sviluppo di processo, pulizia, attivazione, etching in serie di picolle dimensioni - sistema al plasma

Dati tecnici: sistema di pulizia al plasma Atto con controllo PC integrato

Alloggiamento: l 525 mm, A 275 mm, P 450 mm

Camera: in vetro, ∅ 211 mm, L 300 mm

Volume della camera: cca. 10,5 litri

Alimentazione gas: 2 canali di gas con MFC

Generatore: 40 kHz / 200 W o 13,56 MHz / 300 W accoppiamento fisso

Pompa di vuoto: aspirazione: 2 m3/h

Sistema di caricamento: vassoio 1 pz.

Sistema di controllo: controllo PC (Microsoft Windows XP)

Dati tecnici: sistema di pulizia al plasma Atto con controllo PCCE integrato

Alloggiamento: l 525 mm, A 275 mm, P 450 mm

Camera: in vetro, ∅ 211 mm, L 300 mm

Volume della camera: cca. 10,5 litri

Alimentazione gas: 2 canali di gas con MFC

Generatore: 40 kHz / 200 W o 13,56 MHz / 300 W accoppiamento fisso

Pompa di vuoto: aspirazione: 2 m3/h

Sistema di caricamento: vassoio 1 pz.

Sistema di controllo: controllo PC (Microsoft Windows CE)