Impianto PICO UHP per noleggio - disponibile su richiesta

Plasma system PICO UHP, impianto da 4 litri, con i suoi quattro litri di volume camera e controllo semiautomatico, si presta ad applicazione in particolare nei seguenti settori:

  • produzione piccole serie
  • analisi (SEM, TEM)
  • tecnica medica
  • ricerca e sviluppo
  • tecnica dei semiconduttori
  • tecnica delle materie plastiche

Poiché questo impianto non contiene acciaio inossidabile, è particolarmente adatto ad applicazioni, nelle quali tracce di cromo, nichel e ferro sono inconvenienti.

UHP è acronimo di Ultra High Purity. Questa designazione si applica alle camere in vetro dei nostri sistemi al plasma, che possono essere a secondo delle esigenze del cliente in vetro borosilicato o vetro di quarzo. L'opzione UHP è disponibile solo per le seguenti unità: Femto, Pico e Nano.

Le camere di vetro vengono utilizzate in sistemi a microonde e/o nelle applicazioni in cui è richiesta una superficie ultrapura. Le camere normali in acciaio inossidabile o alluminio possono lasciare tracce in quantità minime di metallo, come tutti i metalli in un sistema plasma, compreso i pezzi da trattare. Per la maggior parte dei processi questo processo non è importante e assolutamente trascurabile. Le parti in alluminio del sistema UHP sono rivestite con Al2O3. Poiché il sistema non ha una camera a vuoto in acciaio inossidabile, è adatta per applicazioni in cui tracce di cromo, nichel e ferro influenzano negativamente.

Caratteristiche tecniche:

Quadro elettrico: largh. 550 mm, alt. 330 mm, prof. 500 m

Camera: Ø 130 mm, lungh. 300 mm

Apertura camera Ø: 125 mm

Materiale: quarzo o vetro borosilicato

Parete anteriore e posteriore della camera: alluminio

Volume della camera: ca. 4 litri

Alimentazione gas: 2 canali gas con valvola a spillo

Generatore: 40kHz/100W, variabile (optional: 13,56 MHz o 2,45 GHz)

Pompa per vuoto: Leybold, Tipo Trivac D2,5B (2,5 m³/h)

Sistema di caricamento: Vassoio 1 pz.

Sistema di controllo: semiautomatico, tempo di processo regolato da temporizzatore

Optional / accessori