Generatori di plasma

Per il funzionamento di un sistema al plasma abbiamo bisogno di un generatore. Qual è la frequenza migliore per l'applicazione desiderata, non si può rispondere in termini generali, ma si deve decidere caso per caso. Dopo aver offerto per anni nella sua gamma di prodotti generatori al plasma con una frequenza di 50 kHz e 2,45 GHz, ora la Diener electronic ha sviluppato e prodotto appositamente generatori a 13,56 MHz con 100 e 300 watt di potenza.

Vantaggi dei generatori a 13,56 MHz: 

1.    Possibile il funzionamento RIE

2.    L'omogeneità è migliore rispetto a quella di 2,45 GHz

3.    Velocità di etching è maggiore per la stessa potenza a 40 kHz

4.    Possono essere utilizzati facilmente dei tamburi rotanti in metallo

5.    E' possibile la costruzione di elettrodi/supporti merce la simmetria degli elettrodi è molto importante

6.    Adatta per processi di di back-end e front-end dei semiconduttori

7.    Alte velocità di etching per la polimerizzazione al plasma

Le principali applicazioni per entrambe le potenza sono attivazione, pulizia, etching, semiconduttori (front-end), semiconduttori (back-end) e polimerizzazione al plasma. La regolazione d'impedenza può essere realizzata sia manualmente (corrispondenza manuale) o automaticamente (corrispondenza automatica), ma, in ogni caso, è necessaria.

Se durante la corrispondenza manuale, questa deve essere impostata ad ogni inizio di processo e controllata e regolata sporadicamente durante il processo, i condensatori vengono regolati automaticamente e riadattati alle modifiche.

E' anche possibile la visualizzazione del potere, l'arresto di sicurezza tramite l'interruttore sulla porta e l'interruttore di sicurezza, la frequenza stabilizzata a quarzo per rispettare le norme DIN EN 55011 e un'interfaccia PC.

Clicca qui e saperne di più sui singoli generatori:

Generatore di 13,56 MHz - 100 Watt

Generatore di 13,56 MHz - 300 Watt 

Corrispondenza automatica per 13,56 MHz 

Generatore LFG - 500 W (80 kHz)

Generatore LFG - 1200 W (80 kHz)

Generatore LFG - 3000 W (80 kHz)

Generatore LFG - 5000 W (80 kHz)

Generatore MW - 850 W (2,45 GHz)