Vuoto

Un vuoto tecnico non è affatto uno spazio privo di materia, ma un volume di gas a bassa pressione, che è caratterizzata da grandi percorsi liberi di particelle di materia prima viene a collisioni con altre particelle. Mentre a pressione atmosferica il cammino libero medio con altre particelle è ad urti anche al di sotto 1 micron, è in alto vuoto di sotto di 10-3 mbar più di 10 cm, che poi significa che molte particelle subiscono collisioni nelle dimensioni di una camera a vuoto. 

Ciò consente specie attive di un plasma a bassa pressione per soddisfare il volume totale di un destinatario, senza causare da shock per neutralizzare o ricombinazione.

Nel plasma a bassa pressione, il cammino libero medio è così grande che il plasma riempie il volume totale della camera al plasma
Le camere di serie sono in acciaio inox