Ultra high vacuum

Il vuoto ultra-alto è noto vuoto con pressione inferiore a 10-7 mbar. Il cammino libero medio di una particella è a questa pressione è di circa 1 km.

Ultra-alto vuoto può essere ottenuto mediante pompe turbo-molecolari, se i sistemi sono sigillati eccellente e ci sono oggetti di gas sono nel vuoto.

Per alcuni motivi tecnici è necessario ultra alto vuoto, per esempio negli acceleratori di particelle e per doping semiconduttori.

Con una pompa rotativa a palette, si può ottenere una pressione di vuoto di 10-3.