Ultra High Purity (UHP)

UHP acronimo di Ultra High Purity. Questa designazione si applica alle camere di vetro dei nostri sistemi al plasma, che possono essere in base alle esigenze del cliente in vetro borosilicato o di vetro di quarzo. L'opzione UHP è disponibile solo per i seguenti sistemi: Femto, Pico e Nano. camere di vetro sono utilizzate in sistemi e / o applicazioni dove è richiesta una superficie ultrapura microonde. acciaio o alluminio camere normali possono, come tutti i metalli in un sistema plasma, compreso il trattamento di sputtering in quantità minime. Per la maggior parte dei processi questo non è importante e assolutamente trascurabile. I componenti in alluminio dall'impianto UHP sono rivestiti con Al2O3.

Il recipiente del sistema al plasma campana di vetro è fatto di vetro di quarzo UHP