Tecnica planare

 

 

Sensore di pressione, il cui principio di misura si  basa sulla variazione di conducibilità termica del gas in in funzione della pressione del gas. Anche noto come un vacuometro a conducibilità termica. La zona di lavoro è tra 10 e 10 -3 mbar. Da qui l'uso frequente in sistemi al plasma.