Sistema al plasma

Impianto generico per eseguire un trattamento al plasma.

Include sempre:

  1. un generatore di plasma
  2. un generatore di plasma
  3. e linee per l'alimentazione elettrica e gas di processo per la generazione del plasma
  4. e un controllo elettrico

Particolarità di un sistema al plasma a bassa pressione

Il generatore di plasma è un generatore ad alta frequenza.

Sono necessarie ulteriori componenti del sistema al plasma una camera al plasma a prova di esplosione e di un sistema di aspirazione.

A seconda del processo da effettuare vengono utilizzati diversi generatori di plasma. Elettrodi ad HF (elettrodi a piastre o elettrodi tubolari) o un magnetron quando eccitato da microonde.

Vari altri componenti opzionali per l'uso:

  • Sensori di pressione
  • Valvole di controllo
  • Filtro di scarico
  • Schermatura elettrica (gabbia di Faraday)
  • Evaporatore polimero
  • Vassoio
Struttura schematica di un sistema al plasma in bassa pressione

Particolarità plasma atmosferico

Il generatore di plasma è un generatore di alta tensione

Per l'eccitazione del plasma si trovano nel generatore di plasma due elettrodi corona tra cui viene applicata l'alta tensione ed una conseguente scarica di gas è eccitata.

Il gas di processo viene alimentato ad alta pressione.

Struttura di base di un sistema di plasma atmosferico