Silicio

Il silicio è uno degli elementi più importanti, ma non solo o dopo la scoperta del suo utilizzo nella microelettronica.

Dalla massa totale della terra, il silicio rappresenta il 15%, ma, in natura, si trova solo come composto, in particolare un composto minerale e soprattutto come diossido di silicio SiO2. Questo minerale è il componente principale di granito, sabbia e arenaria. Il minerale puro SiO2 si chiama quarzo. Può anche essere lavorato un forma pura come vetro di quarzo. Generalmente, è il componente principale di tutti gli elemento in vetro.

Il silicio ha il numero atomico 14 e nella tavola periodica si trova nel gruppo del carbonio. Con i suoi 4 elettroni di valenza mostra diverse possibilità, connessioni e reticoli cristallini simili come il carbonio.

In forma elementare, il silicio è un semi-metallo o semiconduttore e in effetti il semiconduttore più importante per le applicazioni commerciali. Dispone della capacità di formare cristalli singolo molto grandi senza diffeti di particolare importanza.

Molti metodi di lavorazione del silicio possono essere  realizzati con la tecnologia del plasma, in cui in particolare il patterning mediante etching è di importanza. Come gas di etching sono spesso utilizzati i composti fluorurati come l'esafluoro SF6 o il tetrafluorometano CF4. Inoltre, con i metodi fotolitografici vengono applicati delle piste conduttive o dei rivestimenti protettivi mediante la polimerizzazione al plasma.

L'etching ionico reattivo permette l'etching anisotropo con alti tassi di etching
Il wafer semiconduttore viene applicato ai circuiti elettronici, è una sezione sottile di un grande monocristallo di silicio cilindrico