Rivestimento in PTFE

Se viene utilizzato com gas di processo un gas fluorurato, comeil  tetrafluorometano (CF4), i radicali in bassa pressione possono facilemente polimerizzare. I risultanti polimeri di PTFE condensano sulla superficie.

Le superfici rivestite risultano essere di conseguneza idrofobe e lipofobe. Presentano un basso coefficiente di attrito e bassa usura in attrito contro altre superfici. Con rivestimento in PTFE raggiunge una Epilamisierung di superfici da lubrificare. Il Epilamisierung impedisce deliquescence del film d'olio.