Radicali

Quando il rivestimento con strati lubricious radicali si combinano per formare polimeri

Radicali si formano nel gas di processo molecolari, ma anche su substrati che sono esposti al plasma. Causa è in particolare l'azione della radiazione ionizzante UV del plasma. Questa radiazione UV rompe i legami molecolari, quindi, scinde singoli atomi o parte di una molecola. Entrambi parti separate hanno ora un legame non occupata che vogliono riempire il più rapidamente possibile. Pertanto, essi sono altamente reattivi perché reagiscono immediatamente con le particelle prossime nella loro sfera di influenza, che si inserisce nel legame vacante.

Tali porzioni distinte a trama larga chiamate radicali quel legame aperto sito radicale.

Reazioni e concatenamento di polimeri radicali possono verificarsi per reazione dei radicali del gas di processo e il substrato crea nuove molecole che entrano in fase gassosa, lasciando vuoti corrispondenti sul substrato. Funziona come il plasma etching chimico o pulizia al plasma.