Processo a umido

Detergenti tradizionali sono solventi liquidi o alcali caustici e acidi. Purificata è di solito in piscina. Spesso metodi meccanici sono aggiunti di supporto. Analogamente, l'incisione della superficie viene effettuata. Vantaggio del processo surf è relativamente elevata velocità di lavaggio e di alta velocità di attacco. Tuttavia, i liquidi di pulizia e di attacco sono tutti ambientale e della salute e si deve osservare lunghe e costose procedure di stoccaggio, movimentazione e smaltimento. I metodi chimici bagnati richiedono anche rilavorazione per la rimozione di sostanze chimiche e asciugatura. Questi svantaggi sono completamente eliminati con le procedure al plasma chimica secca. È anche particolarmente vantaggioso, che può essere effettuata in plasma a bassa pressione anche negli spazi più piccoli e sottosquadri completa pulizia e etching, che funzionava strato atomico praticamente accuratamente e anche i residui più fini possono essere completamente rimosso. Tuttavia, la velocità di attacco a secco metodi chimici sono generalmente inferiori a processo a umido. Se spessi strati devono essere rimossi, così spesso devono essere utilizzati per integrare processo per via umida.