Precursore

(tedesco: Präkursor) materiale di partenza per una reazione chimica. Nella tecnica al plasma,un gas o una sostanza liquida, che viene convertito mediante un evaporatore nella fase gassosa. Si forma in un reattore al plasma grazie ad un gas di processo, che mediante l'eccitazione del plasma viene ionizzato e forma radicali che pertanto sono estremamente reattivi. Il precursore è quindi utilizzato come gas per l'etching o come materia prima per la polimerizzazione al plasma.

Nell'evaporatore, il precursore viene trasferita nella fase gas prima di essere introdotta nel camera di plasma