Pompa turbomolecolare

La pompa turbomolecolare, talvolta chiamato semplicisticamente turbopompa, è una pompa a vuoto ultra alto per pressioni estremamente basse di scarico fino a 10 -10 mbar). L'investimento in una stampa transfer effettiva dipende dal tasso di perdita dei componenti e dal degassamento dei componenti nel contenitore. Una pompa turbomolecolare è composto da una serie di statori e rotori successivamente disposti, paragonabili a un motore a reazione. Le velocità delle pompe turbo-molecolare siano alcuni 10000 giri/min. Poiché la velocità di pompaggio della turbopompa diminuisce all'aumentare della pressione, che può essere utilizzata in combinazione con una pompa a vuoto, z. B. una pompa rotativa. Nei sistemi plasma turbomolecolari pompe vengono sempre utilizzati quando sono necessarie pressioni molto basse, la pompa di un altro tipo (rotativi a palette, radici), non vengono raggiunti.

Con una pompa turbomolecolare (tenuta ottimale del sistema, i campioni di gas) può essere realizzato pressioni di 10-10 mbar in condizioni ottimali