Pompa da vuoto

Il tipo più comune di pompa nella tecnologia del vuoto e anche nella tecnologia al plasma è la pompa a palette lubrificata ad olio meccanica. Con il suo impiego possono essere realizzate pressioni da pressione atmosferica a 10-3 mbar possono essere realizzati. Se si desidera creare vuoto ultra-alto, di solito si usa una pompa a palette per generare il pre-vuoto.

Con una pompa rotativa a palette, si può ottenere una pressione di vuoto di 10-3 mbar.