Plasma a bassa pressione

Il plasma tecnico può essere eccitato a pressione atmosferica o nei gas diluiti. L'eccitazione a pressione atmosferica è effettuata dalla scarica di gas. Grazie al percorso privo di ioni a pressione atmosferica (circa 10 -7 m), l'estensione del plasma è limitata alla zona di resistenza del campo molto potente.

plasma a bassa pressione viene generata tra due elettrodi attraverso campi elettromagnetici ad alta frequenza. A causa della grande cammino libero di particelle eccitate (circa 10 cm a 10 -3 mbar) possono estendersi oltre la portata del plasma sulla zona di influenza del campo RF e riconoscere l'intero volume di un recipiente.

 plasma a bassa pressione può essere eccitato in linea di principio in ciascun gas. sostanze Inoltre, liquidi sotto pressione atmosferica, possono essere gassosa a bassa pressione e utilizzato come gas di processo. Hai vaporizzato fuori dalla camera a vuoto e alimentato in forma gassosa. A causa della varietà dei gas di processo adeguate secondo vari processi al plasma può essere realizzato.

L'illuminazione uniforme del plasma a bassa pressione indica l'estensione spaziale