Percorso libero medio

Il percorso libero medio da una molecola di gas ad una data temperatura e pressione tra due collisioni con altre molecole di gas. Significativo per il verificarsi un plasma: Con una pressione troppo alta (per abbassare il percorso libero), gli elettroni e gli ioni non costruiscono la velocità richiesta per collisioni ionizzanti, la pressione è troppo bassa (troppo grande lunghezza del percorso libero), non c'è un numero sufficiente di ionizzazioni per ottenere il plasma. Il percorso libero medio ha anche una forte influenza sulla isotropia dei processi di incisione: maggiore è la pressione, più basso è il percorso libero medio, più isotropa (non direzionale) della rimozione del materiale.

Il percorso libero medio di una particella tra le collisioni è a pressione atmosferica (1000 mbar) a circa 10-7 m, al confine con un alto vuoto (10-3 mbar) a 10 cm.