Microsabbiatura

Gli Ioni, che rimbalzano da una superficie del substrato non reagiscono chimicamente, ma possono agire fisicamente, estraendo atomi e molecole dalla superficie. Questo può essere parte di un rivestimento superficiale o contaminazione, oppure il substrato stesso. L'effetto è come sabbiatura con un grano di dimensioni atomiche.

Altamente anisotropo, ma gli effetti di attacco non selettivi possono essere realizzati con il gas di attacco di argon, che agisce come microsabbiatura, ma non provoca reazioni chimiche.