Etcher al plasma a tamburo

Elevate velocità di attacco nel processo etching al plasma anisotropo si ottengono in particolare nel reattore a tamburo con l'eccitazione RF nell'intervallo MHz. Pertanto, i sistemi al plasma, che vengono utilizzati principalmente o esclusivamente per l'etching al plasma, sono preferibilmente progettati come reattori a tamburo. Gli etcher al plasma a tamburo vengono ad esempio utilizzati nel processo di incenerimento di fotoresist.

Per saperne di più, fare clic su reattore a tamburo ⇒

Per il reattore a tamburo, un elettrodo ha la forma di un cilindro. Viene quindi indicato anche come reattore tubolare