Componenti dell'impianto

I componenti di un sistema di plasma a bassa pressione sono:

Il recipiente o la camera del plasma

Camera da 5,2 m³ del sistema Tetra 5200

Generatore HF

Generatori per eccitazione a RF sono in kHz, MHz e GHz

Pompa da vuoto

Nei sistemi di plasma di grandi dimensioni, come Tetra 12600, sono richieste più pompe.
Negli impianti di grandi dimensioni, quali la Tetra 2.800 l'eccitazione del plasma viene eseguita da una pluralità di generatori di RF che si integrano con il controllore PC in una unità di alimentazione.

I componenti di un sistema di plasma a pressione atmosferica

Il sistema PlasmaBeam PC a pressione atmosferica con generatore ad alta tensione, controllo del PC, generatore di plasma e tubo di alimentazione