Camera del plasma

Con il termine "camera", viene indicata la camera del plasma (reattore), nel quale si trova il gas di processo in bassa pressione. La camera è progettata come un recipiente a pressione. È costituita da un materiale che non è inciso dai gas di processo utilizzati, spesso in acciaio inossidabile. Per alcuni processi, deve essere utilizzata una camera in vetro di quarzo ad alta purezza

Le camere di serie sono in acciaio inox
Nel sistema Bell Jar, il reattore al plasma è una campana fatta di quarzo ad elevata purezza