Auto-bias

Un elettrodo ad alta frequenza capacitivamente disaccoppiato (mediante un condensatore dal generatore), che viene azionato ad alta frequenza nell'intervallo dei MHz, si carica negativamente nel plasma a bassa pressione. Gli ioni positivi pesanti sono troppo lenti nel seguire l'alta frequenza del campo alternato, ma gli elettroni leggeri riescono a farlo senza alcun problema. In tal modo, l'elettrodo di lavoro diventa sempre caricato negativamente perché gli elettroni non possono fluire attraverso il disaccoppiamento capacitivo. In tal modo, una tensione bias viene generata, mediante la quale gli elettrodi caricati negativamente vengono quindi accelerati. Quando su questi elettrodi negativi si sovrappone un substrato, allora questo viene bombardato dagli ioni. Questo effetto è utilizzato per il processo di  etching con ioni (etching fisico).

Con l'etching ionico, l'elettrodo di lavoro è caricata negativamente da auto-bias