Impianti speciali e in linea / completamente automatici

Impianti al plasma a bassa pressione (Plasmacleaner)

Produciamo i nostri sistemi al plasma appositamente adattati alle vostre esigenze.  Determinanti per la progettazione sono  aspetti quali la portata di materiale prevista e le dimensioni dei pezzi da trattare. Un sistema a ciclo breve può essere facilmente integrato in una linea di produzione esistente. Un sistema a ciclo breve completamente automatizzato consente inoltre di eliminare eventuali errori dell'operatore.

Le presentiamo una piccola selezione dei impianti speciali / in linea già realizzati

Tetra 120 LF-PC

| Impianto in linea

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 600 mm, A 2150 mm, P 1000 mm
  • Camera: B 1200 mm, A 150 mm, P 700 mm
  • Volume della camera: ca. 120 litri
  • Alimentazione di gas: 4 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 2 unità (40 kHz ciascuno) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Sistema di controllo:  controllo PC (Windows) con bus di campo industriale
  • Automazione:  l’impianto è dotato di una porta scorrevole automatica

Tetra 185 PCB Desmearing

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 600 mm, A 2100 mm, P 1000 mm
  • Camera: B 400 mm, A 665 mm, P 700 mm
  • Volume della camera: ca. 185 litri
  • Alimentazione di gas: 4 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (80 kHz)
  • Sistema di controllo: Controllo FULL PC

Caratteristiche:

  • Desmearing di diversi materiali (pulizia delle superfici dei fori)
  • Pulizia delle superfici
  • Attivazione di superfici metalliche
  • 7 alloggiamenti per 7 lastre trattate simultaneamente di dimensione max. 460 x 610 mm o 14 circuiti stampati di dimensione max. 230 x 305 mm

Tetra 210 LF-PC

| Impianto in linea

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 1560 mm, A 2350 mm, P 1860 mm
  • Camera: B 6000 mm, A 600 mm, P 600 mm
  • Volume della camera: ca. 210 litri
  • Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 1 generatore di impulsi, 1 unità (40 kHz) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Tetra 216 LF-PC

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 600 mm, A 1700 mm, P 800 mm
  • Camera: B 600 mm, A 600 mm, P 620 mm
  • Volume della camera: ca. 216 litri
  • Alimentazione di gas: 5 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (80 kHz) 
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale 

Tetra 330 LF-PC

| Impianto in linea

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 1200 mm, A 1800 mm, P 1800 mm
  • Camera: B 530 mm, A 700 mm, P 900 mm
  • Volume della camera: ca. 330 litri
  • Alimentazione di gas: 4 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (80 kHz) 
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale 

Tetra 375 Roll-to-roll

| Impianto speciale

Dati tecnici

  • B 3150mm, A 2200mm, P 1800mm
  • Camera: B 1500mm, A 1000mm, P 250mm
  • Gas: 3 X gas 1 X ozono
  • Generatore 5000
  • Sistema di controllo: controllo PC
  • Impianto Roll-to-roll con due rulli separati per lavorazione autonoma.
     

Tetra 575 LF-PC

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 1150 mm, A 1900 mm, P 1600 mm
  • Camera: B 600 mm, A 1200 mm, P 800 mm
  • Volume della camera: ca. 575 litri
  • Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (40 kHz) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Inserimento pezzi di lavorazione: 22 piani / supporto pezzo di lavorazione (variabile)
  • Sistema di controllo: PC (Windows) 

Tetra 400 LF-PC

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 600 mm, A 2100 mm, P 650 mm
  • Camera: B 915 mm, A 750 mm, P 725 mm
  • Volume della camera: ca. 400 litri
  • Alimentazione di gas: 3 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 2 unità (40 kHz ciascuno) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale
  • Automazione: l’impianto è dotato di una porta scorrevole automatica

Tetra 830 AL-PC con 2 porte

| Impianto in linea

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 600 mm, A 1.700 mm, P 800 mm
  • Camera: B 900 mm, A 400 mm, P 2300 mm
  • Porte: 2 unità (1 lato anteriore, 1 lato posteriore)
  • Volume della camera: ca. 830 litri
  • Alimentazione di gas: 1 canale gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (80 kHz)
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale
  • Automazione: L’impianto può essere integrato in una linea di produzione.

Tetra 800 LF-PC

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 600 mm, A 1800 mm, P 800 mm
  • Camera: B 1250 mm, A 550 mm, P 1120 mm
  • Volume della camera: ca. 800 litri
  • Alimentazione di gas: 3 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (40 kHz)
  • Controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Tetra 810 LF-PC

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 1200 mm, A 2200 mm, P 2000 mm
  • Camera: B 900 mm, A 1100 mm, P 900 mm
  • Volume della camera: ca. 810 litri
  • Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (80 kHz)
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Tetra-1200-LF-PC 

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 1000 mm, A 1000 mm, P 1800 mm
  • Camera: B 600, A 1000 mm, P 2000 mm
  • Volume della camera: ca. 1200 litri
  • Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 3 unità (40 kHz)
  • Controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Tetra 2800-LF-PC

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 600 mm, A 1700 mm, P 800 mm
  • Camera: ∅ 1200 mm, P 2500 mm
  • Volume della camera: ca. 2800 litri
  • Alimentazione di gas: 3 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (40 kHz) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Tetra 3600

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico / Camera: L 450 mm, A 210 mm, P 170 mm
  • Volume della camera: ca. 3600 litri
  • Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 3 unità (80 kHz) (5KW) Generatore di ossigeno
  • Sistema di controllo: Controllo FULL PC (Windows) su braccio girevole 
  • Cassettiera: supporto pezzo di lavorazione estraibile

Tetra 8000-LF-PC

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 2000 mm, A 1800 mm, P 1000 mm
  • Camera: B 1700 mm, P 2800 mm, A 1700 mm
  • Volume della camera: ca. 8000 litri
  • Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 4 unità (40 kHz ciascuno) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Bel Jar 35

| Impianto speciale

L’impianto al plasma Bell Jar 35 è un sistema di ricerca concepito per esperimenti scientifici. Il sistema è adatto per evaporazione termica, sputtering, evaporazione a fascio elettronico, rivestimenti metallici per la preparazione dei campioni per il microscopio elettronico a scansione (SEM) e per i processi classici del plasma.

 

 

Dati tecnici:

  • Alloggiamento ca. B 560 mm, A 1640 mm, P 620 mm
  • Volume della camera: ca. 35 litri
  • Alimentazione elettrica: 230 V / 16 A
  • Alimentazione di gas: 3 Mass-Flow-Controller (MFC)
  • Camere da vuoto: Campana in vetro borosilicato ∅ 315 mm x A 500 mm
  • Fonte di spruzzatura: 1 fonte di spruzzatura 2" - 3" + otturatore (opzionale con camino e ingresso gas per processi reattivi)
  • Supporto del substrato: ∅ 140 mm (opzionalmente ruotabile, riscaldamento del substrato, raffreddamento del substrato), attivabile come elettrodo per il trattamento preliminare al plasma (pulizia, attivazione, incisione)
  • Sistema di controllo: Controllo PC (Microsoft Windows XPe) 
  • Misurazione della pressione: Pirani
  • Pompe per vuoto: in diverse dimensioni e di diversi produttori (se necessario, con filtro a carboni attivi)
  • Ulteriori opzioni: set di ricambi, Manometro, Ambiente di utilizzo corrosivo, Bombole di gas, Riduttore di pressione, Piastra di riscaldamento, Visualizzazione della temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Inchiostri di prova, Generatore di ossigeno, Ventilazione lenta, Pompaggio lento, Flangia portacampioni TEM, Manutenzione/Assistenza, Documentazione in lingua nazionale, Installazione in loco, incl. training. Altre opzioni su richiesta

 

Frequenze generatori:    

  • 40 kHz: Potenza 0 - 500 W
  • 13,56 MHz: Potenza 0 - 300 W
  • Fonte di tensione bias DC o monopolare ad impulsi
  • Potenza max. 300 W Tensione max. 600 V DC
  • I generatori sono regolabili in continuo da 0 a 100 %.

Tetra 30 LF-PC

| Impianto in linea

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 800 mm, A 600 mm, P 500 mm
  • Camera: B 240 mm, A 150 mm, P 240 mm
  • Volume della camera: ca. 30 litri
  • Alimentazione di gas: 1 canale gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (40 kHz) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale
  • Automazione: L’impianto può essere integrato in una linea di produzione.
  • Questo impianto è disponibile anche come kit di montaggio.

Tetra 100 LF-PC

| Impianto speciale

Dati tecnici:

  • Armadio elettrico: B 2000 mm, A 2200 mm, P 2000 mm
  • Camera: B 700 mm, A 200 mm, P 700 mm
  • Volume della camera: ca. 100 litri
  • Alimentazione di gas: 3 canali gas tramite MFC
  • Generatore: 1 unità (40 kHz) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
  • Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale
  • Automazione: L’impianto è dotato di cassettiera con sportello

+49 (0)7458 99931-0

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