IMPIANTI SPECIALI E IN LINEA / COMPLETAMENTE AUTOMATICI

Dati tecnici:

• Armadio elettrico: B 600 mm, A 1800 mm, P 800 mm
• Camera: B 1250 mm, A 550 mm, P 1120 mm
• Volume della camera: ca. 800 litri
• Alimentazione di gas: 3 canali gas tramite MFC
• Generatore: 1 unità (40 kHz)
• Controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Dati tecnici:

• Armadio elettrico: B 1200 mm, A 2200 mm, P 2000 mm
• Camera: B 900 mm, A 1100 mm, P 900 mm
• Volume della camera: ca. 810 litri
• Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
• Generatore: 1 unità (80 kHz)
• Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Dati tecnici:

• Armadio elettrico: B 1000 mm, A 1000 mm, P 1800 mm
• Camera: B 600, A 1000 mm, P 2000 mm
• Volume della camera: ca. 1200 litri
• Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
• Generatore: 3 unità (40 kHz)
• Controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Dati tecnici:

• Armadio elettrico: B 600 mm, A 1700 mm, P 800 mm
• Camera: ∅ 1200 mm, P 2500 mm
• Volume della camera: ca. 2800 litri
• Alimentazione di gas: 3 canali gas tramite MFC
• Generatore: 1 unità (40 kHz) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
• Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

Dati tecnici:

• Armadio elettrico / Camera: L 450 mm, A 210 mm, P 170 mm
• Volume della camera: ca. 3600 litri
• Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
• Generatore: 3 unità (80 kHz) (5KW) Generatore di ossigeno
• Sistema di controllo: Controllo FULL PC (Windows) su braccio girevole 
• Cassettiera: supporto pezzo di lavorazione estraibile

Dati tecnici:

• Armadio elettrico: B 2000 mm, A 1800 mm, P 1000 mm
• Camera: B 1700 mm, P 2800 mm, A 1700 mm
• Volume della camera: ca. 8000 litri
• Alimentazione di gas: 2 canali gas tramite MFC
• Generatore: 4 unità (40 kHz ciascuno) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
• Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale

L’impianto al plasma Bell Jar 35 è un sistema di ricerca concepito per esperimenti scientifici. Il sistema è adatto per evaporazione termica, sputtering, evaporazione a fascio elettronico, rivestimenti metallici per la preparazione dei campioni per il microscopio elettronico a scansione (SEM) e per i processi classici del plasma.

Dati tecnici:

• Alloggiamento ca. B 560 mm, A 1640 mm, P 620 mm
• Volume della camera: ca. 35 litri
• Alimentazione elettrica: 230 V / 16 A
• Alimentazione di gas: 3 Mass-Flow-Controller (MFC)
• Camere da vuoto: Campana in vetro borosilicato ∅ 315 mm x A 500 mm
• Fonte di spruzzatura: 1 fonte di spruzzatura 2" - 3" + otturatore (opzionale con camino e ingresso gas per processi reattivi)
• Supporto del substrato: ∅ 140 mm (opzionalmente ruotabile, riscaldamento del substrato, raffreddamento del substrato), attivabile come elettrodo per il trattamento preliminare al plasma (pulizia, attivazione, incisione)
• Sistema di controllo: Controllo PC (Microsoft Windows XPe) 
• Misurazione della pressione: Pirani
• Pompe per vuoto: in diverse dimensioni e di diversi produttori (se necessario, con filtro a carboni attivi)
• Ulteriori opzioni: set di ricambi, Manometro, Ambiente di utilizzo corrosivo, Bombole di gas, Riduttore di pressione, Piastra di riscaldamento, Visualizzazione della temperatura, Camera riscaldabile, Gabbia Faraday, Accessori per la polimerizzazione, Inchiostri di prova, Generatore di ossigeno, Ventilazione lenta, Pompaggio lento, Flangia portacampioni TEM, Manutenzione/Assistenza, Documentazione in lingua nazionale, Installazione in loco, incl. training. Altre opzioni su richiesta

Frequenze generatori:    

• 40 kHz: Potenza 0 - 500 W
• 13,56 MHz: Potenza 0 - 300 W
• Fonte di tensione bias DC o monopolare ad impulsi
• Potenza max. 300 W Tensione max. 600 V DC
• I generatori sono regolabili in continuo da 0 a 100 %.

Dati tecnici:

• Armadio elettrico: B 800 mm, A 600 mm, P 500 mm
• Camera: B 240 mm, A 150 mm, P 240 mm
• Volume della camera: ca. 30 litri
• Alimentazione di gas: 1 canale gas tramite MFC
• Generatore: 1 unità (40 kHz) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
• Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale
• Automazione: L’impianto può essere integrato in una linea di produzione.
• Questo impianto è disponibile anche come kit di montaggio.

Dati tecnici:

• Armadio elettrico: B 2000 mm, A 2200 mm, P 2000 mm
• Camera: B 700 mm, A 200 mm, P 700 mm
• Volume della camera: ca. 100 litri
• Alimentazione di gas: 3 canali gas tramite MFC
• Generatore: 1 unità (40 kHz) (opzionale: 13,56 MHz o 2,45 GHz)
• Sistema di controllo: Controllo da PC (Windows) con bus di campo industriale
• Automazione: L’impianto è dotato di cassettiera con sportello