Tetrafluorometano

Il tetrafluorometano CF4 corrisponde alla molecola di metano in cui tutti e 4 i legami di idrogeno sono stati sostituiti dal fluoro. 
Nei processi al plasma è un gas di processo largamente utilizzato, soprattutto nei processi di acidatura. Il tetrafluorometano (CF4, denominato anche 14) è completamente inerte in condizioni normali, ma nel plasma crea atomi di fluoro libero e radicali di CF2 e CF3. Essi hanno un effetto di acidatura molto forte, ad esempio sul diossido di silicio. Le miscele di CF4 e O2 incidono con una velocità circa 5 volte superiore a quella dell'ossigeno puro.

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