Maschera per acidatura
Se un substrato deve essere inciso solo localmente, le restanti aree devono essere coperte da una maschera . La maschera stessa non deve essere danneggiata dal processo di acidatura. Per l’acidatura delle strutture sono da preferire i processi di acidatura anisotropi (⇒ Acidatura ionica, ⇒ RIE), che riproducono un'immagine nitida della maschera di acidatura. I processi di acidatura isotropa (chimica a umido, acidatura al plasma) causano una sotto-acidatura della maschera e non consentono un elevato rapporto dimensionale. Di grande importanza è l'acidatura delle piste conduttive sui circuiti stampati con metodo fotolitografico. La maschera di acidatura in questo caso è una maschera fotoresistente. L’applicazione delle piste conduttive su un circuito stampato avviene normalmente con metodo fotolitografico:
- In primo luogo, l'intero circuito stampato viene ricoperto da uno strato conduttivo (metallizzato).
- Viene inoltre applicato uno strato fotoresistente che copre l'intera superficie, in cui è possibile utilizzare vernici negativeo positive . Durante il processo di sviluppo, la vernice positiva viene rimossa dove è stata esposta, mentre la vernice negativa rimane esattamente dove è stata esposta.
- Il fotoresist viene quindi esposto solo con la struttura delle piste conduttive desiderate. Se è stata usata una vernice positiva, vengono esposte le aree in cui si intende asportare lo strato metallico con acidatura; se invece è stata usata una vernice negativa, devono essere esposte le aree delle piste conduttive.
- Dopo il processo di sviluppo, lo strato fotoresistente permane sulle superfici in cui vengono successivamente realizzate le piste conduttive.
- A questo punto viene inciso il circuito stampato. Lo strato fotoresistente non viene intaccato affatto o solo minimamente, lasciando intatto lo strato metallico sottostante. Le superfici metalliche esposte dopo la rimozione dello strato fotoresistente, invece, vengono asportate.
L'acidatura può essere effettuata chimicamente in umido o mediante acidatura al plasma . Il tasso di acidatura è più elevato nel processo chimico a umido. Tuttavia, l'acidatura chimica a umido è isotropa, per cui la copertura con fotoresist è anche sottoincisa, cioè lo strato metallico della successiva pista conduttiva viene inciso anche lateralmente sotto lo strato di fotoresist. Mediante l'adeguata impostazione dei parametri di acidatura, l'acidatura al plasma può essere isotropa o anisotropa (vedere ⇒ Acidatura ionica IE, ⇒ Acidatura ionica reattiva RIE), per cui lo strato metallico viene effettivamente scolpito come immagine nitida della maschera fotoresistente. - Dopo l'acidatura delle piste conduttive, lo strato fotoresistente può essere rimosso con processi di acidatura al plasma (⇒ Sverniciatura al plasma).
