Systèmes spéciaux et en ligne/entièrement automatiques

Systèmes plasma basse pression (nettoyage au plasma)

Nous construisons des systèmes plasma spécialement adaptés à vos besoins. Le débit de produit escompté ainsi que la taille des pièces à traiter s'avèrent décisifs pour la conception. Il est facile d'intégrer une installation à cycles courts dans une ligne de fabrication déjà présente. Une installation à cycles courts entièrement automatique permettra en outre d'exclure les erreurs de commande possibles.

Voici un petit éventail de systèmes spéciaux/en ligne déjà réalisés

Tetra 120 LF-PC

| Installations en ligne

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 600 mm, H 2150 mm, P 1000 mm
  • Chambre : larg. 1200 mm, H 150 mm, P 700 mm
  • Volume de chambre : env. 120 litres
  • Alimentation en gaz : 4 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 2 en tout (40 kHz chacun) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel
  • Automatisation : l'installation est pourvue d'une porte automatique

Tetra 185 PCB Desmearing

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 600 mm, H 2100 mm, P 1000 mm
  • Chambre : larg. 400 mm, H 665 mm, P 700 mm
  • Volume de chambre : 185 litres env.
  • Alimentation en gaz : 4 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (80 kHz)
  • Système de commande : commande Full PC

Caractéristiques :

  • Desmearing (nettoyage des parois de trous percés)
  • Nettoyage de surface
  • Activation de surfaces métalliques
  • 7 tiroirs pour 7 plaques devant être traitées simultanément, de dimensions maxi 460 x 610 mm ou de 14 circuits imprimés de maxi 230 x 305 mm

Tetra 210 LF-PC

| Installations en ligne

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 1560 mm, H 2350 mm, P 1860 mm
  • Chambre : larg. 6000 mm, H 600 mm, P 600 mm
  • Volume de chambre : 210 litres env.
  • Alimentation en gaz : 2 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 1 générateur d'impulsions (40 kHz) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel

Tetra 216 LF-PC

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm
  • Chambre : larg. 600 mm, H 600 mm, P 620 mm
  • Volume de chambre : 216 litres env.
  • Alimentation en gaz : 5 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (80 kHz) 
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel 

Tetra 330 LF-PC

| Installations en ligne

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 1200 mm, H 1800 mm, P 1800 mm
  • Chambre : larg. 530 mm, H 700 mm, P 900 mm
  • Volume de chambre : 330 litres env.
  • Alimentation en gaz : 4 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (80 kHz) 
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel 

Tetra 375 rouleau/rouleau

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques

  • Boîtier avec armoire électrique : larg. 3150 mm, H 2200 mm, P 1800 mm
  • Chambre : larg. 1500 mm, H 1000 mm, P 250 mm
  • Gaz : 3 X gaz 1 X ozone
  • Générateur 5000
  • Système de commande : commande par PC
  • Installation rouleau à rouleau pour le traitement indépendant de deux rouleaux séparés.
     

Tetra 575 LF-PC

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 1150 mm, H 1900 mm, P 1600 mm
  • Chambre : larg. 600 mm, H 1200 mm, P 800 mm
  • Volume de chambre : env. 575 litres
  • Alimentation en gaz : 2 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (40 kHz) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
  • Fixation des pièces : 22 étages / support de pièces (variable
  • Commande : commande par PC (Windows) 

Tetra 400 LF-PC

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 600 mm, H 2100 mm, P 650 mm
  • Chambre : larg. 915 mm, H 750 mm, P 725 mm
  • Volume de chambre : 400 litres env.
  • Alimentation en gaz : 3 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 2 en tout (40 kHz chacun) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel
  • Automatisation : l'installation est équipée d'une porte coulissante automatique

Tetra 830 AL-PC avec 2 portes

| Installations en ligne

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 600 mm, H 1 700 mm, P 800 mm
  • Chambre : 900 mm, H 400 mm, P 2300 mm
  • Portes : 2 en tout (1 à l'avant, 1 à l'arrière)
  • Volume de chambre : 830 litres env.
  • Alimentation en gaz : 1 canal de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (80 kHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel
  • Automatisation : L'installation peut être intégrée dans une ligne de production.

Tetra 800 LF-PC

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 600 mm, H 1800 mm, P 800 mm
  • Chambre : larg. 1250 mm, H 550 mm, P 1120 mm
  • Volume de chambre : 800 litres env.
  • Alimentation en gaz : 3 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (50 kHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel

Tetra 810 LF-PC

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 1200 mm, H 2200 mm, P 2000 mm
  • Chambre : larg. 900 mm, H 1100 mm, P 900 mm
  • Volume de chambre : 810 litres env.
  • Alimentation en gaz : 2 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (80 kHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel

Tetra-1200-LF-PC 

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 1000 mm, H 1000 mm, P 1800 mm
  • Chambre : larg. 600, H 1000 mm, P 2000 mm
  • Volume de chambre : 1200 litres env.
  • Alimentation en gaz : 2 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 3 en tout (40 kHz chacun)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel

Tetra 2800-LF-PC

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm
  • Chambre : ∅ 1200 mm, P 2500 mm
  • Volume de chambre : 2800 litres env.
  • Alimentation en gaz : 3 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (40 kHz) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel

Tetra 3600

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique/chambre : larg. 450 mm, H 210 mm, P 170 mm
  • Volume de chambre : 3600 litres env.
  • Alimentation en gaz : 2 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 3 en tout (80 kHz) (5KW) générateur d'oxygène
  • Système de commande : commande Full PC (Windows)- bras pivotant 
  • Système à tiroir : support de pièce extensible

Tetra 8000-LF-PC

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 2000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm
  • Chambre : larg. 1700 mm, H 2800 mm, P 1700 mm
  • Volume de chambre : 8000 litres env.
  • Alimentation en gaz : 2 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 4 en tout (40 kHz chacun) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel

Bel Jar 35

| Installation spéciale

Le système plasma de Bell Jar 35 est un outil de recherche développé pour des expériences scientifiques. L'installation convient non seulement à l'évaporation thermique, pulvérisation, évaporation par faisceau d'électrons, enduction métallique pour la préparation des échantillons MEB (microscopie électronique à balayage), mais aussi aux processus plasma classiques.

 

 

Caractéristiques techniques :

  • Boîtier larg. 560 mm x H 1640 mm x P 620 mm
  • Volume de chambre : 35 litres env.
  • Alimentation en tension : 230 V / 16 A
  • Alimentation en gaz : 3 débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs))
  • Chambres sous vide : cloche de verre borosilicate ∅ 315 mm x H 500 mm
  • Source de pulvérisation : 1 source de pulvérisation de 2" - 3" + obturateur (en option avec conduit et une entrée de gaz pour processus réactifs)
  • Porte-substrat : ∅ 140 mm (en option rotatif, chauffage du substrat, refroidissement du substrat), pouvant être enclenché en tant qu'électrode pour le pré-traitement au plasma (nettoyage, activation, gravure ionique réactive)
  • Système de commande : commande PC (Microsoft Windows XPe) 
  • Mesure de pression : Pirani
  • Pompes à vide : en plusieurs tailles et provenant de différents fabricants (avec filtre à charbon actif, si nécessaire)
  • Autres options : Kits de pièces de rechange, Manomètre, Version gaz corrosifs, Bouteilles de gaz, Réducteur de pression, Plaque de chauffe, Indicateur de température, Chambre chauffante, Cage de Faraday, Accessoires pour polymérisation plasma, Encres de test, Générateur d'oxygène, Aération lente, Pompage lent, Bride porte-échantillon MET, Maintenance/Service, Documentation dans la langue nationale, Installation sur site y compris formation. Autres options sur demande

 

Fréquences des générateurs :    

  • 40 kHz Puissance 0 - 500 W
  • 13,56 MHz Puissance 0 - 300 W
  • Source de tension de polarisation DC ou pulsée unipolaire
  • Puissance maxi 300 W Tension maxi 600 V DC
  • Les générateurs sont progressivement réglables de 0 à 100 %

Tetra 30 LF-PC

| Installations en ligne

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 800 mm, H 600 mm, P 500 mm
  • Chambre : larg. 240 mm, H 150 mm, P 240 mm
  • Volume de chambre : 30 litres env.
  • Alimentation en gaz : 1 canal de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (40 kHz) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel
  • Automatisation : l'installation peut être intégrée dans une ligne de production.
  • Elle est également disponible en tant que kit de construction.

Tetra 100 LF-PC

| Installation spéciale

Caractéristiques techniques :

  • Armoire électrique : larg. 2000 mm, H 2200 mm, P 2000 mm
  • Chambre : larg. 700 mm, H 200 mm, P 700 mm
  • Volume de chambre : 100 litres env.
  • Alimentation en gaz : 3 canaux de gaz par MFC
  • Générateur : 1 (40 kHz) (en option : 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
  • Système de commande : commande PC (Windows) avec bus de terrain industriel
  • Automatisation : l'installation est équipée d'une porte à tiroir

+49 7458 99931-0

Demandez l'avis d'experts au téléphone

info@plasma.com

Faites-nous part de ce qui vous préoccupe

Demander une offre

Vous savez exactement ce que vous voulez