Pompes à vide

Quels sont les types de pompes le plus souvent utilisés dans la technologie plasma?

Les pompes à vide sont utilisées pour produire le vide dans la chambre de traitement (à vide donc) du système plasma.

Les pompes à vide les plus usuellement utilisées dans la technologie plasma sont les suivantes:

1. Les pompes à palettes

La pompe rotative à palettes est constituée d'un boîtier (stator) dans lequel un rotor, muni de plusieurs palettes coulissantes, tourne de manière excentrique. Dans ce boîtier, les palettes coulissantes sont plaquées contre la paroi du stator par des ressorts, sur laquelle elles glissent. Le gaz piégé  côté aspiration (coté chambre) est comprimé jusqu'à ce qu'il dépasse la pression extérieure, permettant à la soupape d'échappement placée coté haute pression (atmosphère ext.) de s’ouvrir et au gaz de s'évacuer. La pompe tourne dans un « bain d'huile ». Ceci présente les avantages suivants:

  • Étanchéité de l'aspiration,  ainsi que du côté haute pression
  • Réduction des frottements

Les pompes à palettes sont utilisées en particulier pour nos systèmes standards. Plus la pompe est grosse, plus le temps du processus est réduit. Si elle est amenée à être utilisée pour pomper de l'oxygène du procédé (pur), les pompes doivent être préparées à cet effet. Il règne un brouillard d'huile dans le corps de pompe. Lors de l'utilisation d'une l'huile minérale, le brouillard combiné avec l'oxygène pur est explosif. Il existe deux façons de résoudre ce problème: 1. Utilisation d'une huile de type PFPE (PerFluoroPolyEthers). Cette huile est incombustible. Mais elle génère aussi quelques inconvénients graves:

  • L’huile type PFPE est extrêmement coûteuse
  • Présence de Fluor dans l’huile PFPE. Dans les procédés plasma, cette huile peut se décomposer et donner lieu à la formation de composés extrêmement toxiques (par ex. perfluoroisobutène). Des accidents sérieux ont déjà eu lieu en raison de la présence de ce composé dans l'huile.
  • Les huiles PFPE sont des déchets dangereux et doivent être éliminés en tant que tel.
Principe de Fonctionnement des Pompes à Palettes.

2. Pompes sèches pour procédés utilisant des gaz corrosifs

Dans ce cas, nous avons une très large expérience avec les pompes appelées "pompes sèches à vis" de Busch (par ex. le modèle Cobra) et Edwards.

3. Pompes à vide roots (Surpresseur roots)

Le niveau de vide pouvant être atteint au moyen d’une pompe à palette est limité. Pour atteindre des niveaux de vide plus poussés nous recommandons sa combinaison avec une pompe roots. Ceux-ci forment un ensemble que l'on appelle groupe de pompage. La combinaison typique est constituée comme suit: 1. La première pompe (par ex. une pompe à palettes) produit un vide initial. Il est considéré comme "pompage primaire". 2. Une pompe à vide roots est utilisée comme une seconde pompe.

Vue en coupe d'une Pompe Roots
Principe de fonctionnement d'une pompe Roots

Nous serions ravis de vous conseiller sur le type de pompe le plus approprié pour votre procédé.