Sources de Nettoyage

Source de Nettoyage Plasma

Sources de nettoyage plasma de Diener electronic

La source de nettoyage plasma est un élément optionnel visant à purifier les gaz lorsque le vide est obtenu par le biais des pompes sèches de type pompe à vis ou surpresseur ‘roots’ (compresseur à lobes). A chacun des systèmes plasma, correspond un groupe de pompage approprié, composé de pompe sèche à vis, de surpresseurs ‘roots’. En pratique, ces pompes sont contaminées au cours de l'utilisation du plasma par des résidus de fluides de sorte que la fonctionnalité de la pompe peut s’en trouver affectée. La source de nettoyage par plasma, développée et produite par Diener electronic, en instance de brevet, offre une protection pour ces pompes à vide et nettoie les espaces creux. La source de nettoyage plasma se base pour l’essentiel sur le passage du/des gaz de procédé dans une cavité où ce gaz est ionisé au moyen d’une électrode placée à l’intérieur, ou sur, cet espace creux produisant ainsi un plasma. Les débris dans les interstices des pompes pourront être ainsi évités ou supprimés à tout moment. Une extension de la durée de vie de la pompe à vide est de ce fait assurée.