Low Cost System Zepto

ZEPTO 2.6-litres, UNITE PLASMA DE LABORATOIRE ‘LOW COST’, disponible avec système de contrôle manuel, PC ou PCCE, est principalement utilisée dans les domaines suivants:

  • Production en petites séries
  • Application analytiques (MEB, MET)
  • Technologie médicale
  • Stérilisation
  • Départements de recherche et développement
  • Domaine Archéologique
  • Industrie Textile
  • Industrie Plastique.

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Equipement de base

  • La taille de l’équipement varie en fonction des composants / options choisies
  • Les volumes de chambre  1.7 - 2.6 litres, selon la version.
  • Alimentation: 230 V

Alimentation en gaz

  • Débitmètres à flotteur à vanne pointeau
  • Débitmètres massiques (Mass Flow Controlers)

Chambre à vide

  • Tube Quartz (UHP) accès par couvercle(Env. 105 mm ∅, L 200 mm ou 300 mm)
  • Tube Borosilicate (UHP) Accès par couvercle(Env. 105 mm ∅, L 200 mm ou 300 mm L)

Portes substrats

  • Support de pièce pour le traitement: plaque d'aluminium, plaque acier inoxydable, verre borosilicate, quartz

Électrodes

  • Simple ou sur plusieurs niveaux

Contrôle

  • Manuel
  • par PCCE (Microsoft Windows CE)
  • par PC (Microsoft Windows POS Prêt 2009)

Mesure de pression

  • Sonde de pression de type Pirani

Chronomètre

  • Digital

Générateurs

Fréquences:

  • 40 kHz: Puissance de 0 à 100 W
  • 13,56 MHz: Puissance 0 à 50 W

Les pompes à vide

  • Plusieurs tailles et différents fabricants possibles (sur demande avec filtre à charbon actif)

Plus d'options

Pièces de rechanges, Jauge de pression, Options associées à la version "gaz corrosifs", bouteilles de gaz, Détendeur, Cage de Faraday, Accessoires pour plasma polymérisation, Encres de test, Générateur d'oxygène, Ventilation progressive, Pompage progressifContrats d’entretien/Services, Documentation fournie dans la langue du pays, Installation sur site incluant la formation. D'autres options sont disponibles sur demande.

Sytème plasma "Low Cost" Zepto