Yocto III

Le système Yocto III est principalement utilisé pour les applications suivantes:

  • Activation
  • Nettoyage

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Équipement basique

  • Ppuissance d'alimentation: 230 V / 50 - 60 Hz

Alimentation en Gaz

  • Un gaz de procédé filtré
  • Flux passant par une valve (non ajustable)
  • Ventilation avec filtre

Chambre à vide

  • Verre Borosilicate (UHP) cylindrique avec couvercle (Dim. approx. ∅ 50 mm, L 150 mm)

Électrodes

  • Une paire d'électrodes situées à l'extérieur de la chambre plasma

Contrôle

  • Générateur pour le plasma
  • Interrupteur à 2 niveaux
  • Bouton marche
  • Interrupteur d'Alimentation électrique

Générateur 

  • Fréquence: 100 kHz
  • Puissance: 0 - 30 W

 Vacuum Pump

  • Pompe sèche (sans huile)
  • Intégrée dans le système
  • Capacité de pompage: 0,75 m3/h