Tetra 2800

Système Plasma Tetra 2800 (exemple)
Système Plasma Tetra 2800 (exemple)

Le système Tetra 2800 LF-PC avec un volume de chambre de traitement de 2800 litres, contrôlée par PC est avant tout destiné à la production (Nettoyage, Attaque-Gravure (‘Etching’) et Activation de surface)

Données Techniques

Armoire électrique (avec commandes): Larg. 600 mm, Haut. 1700 mm, Prof. 800 mm

Chambre à vide (de traitement): ∅ 1200 mm, Prof. 2500 mm

Alimentation en gaz 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’)

Générateur: 1 élément (40 kHz) (optionnel: 13.56 MHz or 2.45 GHz)

Système de contrôle Par PC (Windows) avec bus industriel.

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