Système plasma basse pression Tetra 100 PC / PCCE

Système Plasma Tetra 100 (Exemple)

Les systèmes plasma Tetra 100 peuvent être configurés suivants vos besoins, il s’agit d’un système modulaire. Les éléments suivant donnent un aperçu des options les plus courantes admissibles par les systèmes plasma Tetra 100. Les systèmes plasma Tetra 100 sont utilisés principalement dans les domaines suivants:

  • Domaine Analytique (MET et MEB)
  • Domaine Archéologique
  • Biotechnologie
  • Technologie des élastomères
  • Electronique
  • Technologie de précision (micro technologie)
  • Recherche et Développement
  • Technologie des semi-conducteurs
  • Petits ‘batchs’ de production- Production de séries limitées
  • Industrie plastiques
  • Technologie médicale
  • Technologie Systèmes Micro Electro Mécaniques (‘MEMS’)
  • Technologie Solaire (Ȼ photovoltaïques)
  • Industrie textile

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Equipement de base

  • L’encombrement du système dépend des composants et options choisies.
  • Volumes de chambre : 80 - 100 litres, suivant la version
  • Puissance d’alimentation: 230 V ou 400 V/3-phases.

Alimentation en gaz

  • Régulation via Débitmètres massiques (‘Mass Flow Controller’ : MFC)

Chambres à vide (de traitement)

  • Acier Inoxydable, Cylindrique, Accès par porte (env. ∅ 400 mm, L 625 mm)
  • Acier Inoxydable, Parallélépipède rectangle, Accès par porte (env. Larg. 400 mm x Haut. 400 mm x Prof 625 mm)

Chargement - Portes substrats

  • Support de pièces (Option: refroidit par circulation d’eau), récipient quartz demi cylindre, tambour rotatif pour poudres, tambour rotatif pour pièces en vrac, plaque aluminium, plaque acier inoxydable, verre borosilicate, quartz.

Electrodes

  • Unique, ou niveaux multiples
  • RIE (‘Reactive Ion Etching’ ou Gravure Ionique Réactive) avec douche de dispersion des gaz.

Systèmes de Contrôle

  • Par PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)
  • Par PCCE (Microsoft Windows CE)

Mesure de Pression

  • Sonde de pression Pirani
  • Sonde de pression Baratron (pour la version « gaz corrosifs »)

Minuteur

  • Digital

Générateurs

Fréquences:40 kHz: Puissance 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W
13,56 MHz: Puissance 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W
2,45 GHz: Puissance 0 - 1200 W

La puissance de chacun des générateurs est ajustable à tout moment de 0 à 100%.

Pompes à vide

  • Plusieurs capacités de pompage et différents fabricants possibles (sur demande avec filtre à charbon actif)

Plus d’options

Pièces de rechanges, Jauge de pression, Options associées à la version "gaz corrosifs", bouteilles de gaz, Détendeur, Plaque chauffante, Affichage de la température, Chambre chauffante, Cage de Faraday, Accessoires pour plasma polymérisation, Encres de test, Générateur d'oxygène, Ventilation progressive, Pompage progressif, Bride porte-échantillon TEM, Contrats d’entretien/Services, Documentation fournie dans la langue du pays, Installation sur site incluant la formation. D'autres options sont disponibles sur demande.