Contrôle semi-automatique

  • Le contrôle des processus est semi-automatique
  • Le Pompage, Injection des gaz dans la chambre, le Procédé plasma et la Mise à l’air de la chambre doivent être activés manuellement.
  • Paramètres directement ajustables par l’opérateur: Durée de traitement, Puissance du plasma, Type(s)/Débit de gaz employé(s) et Pression.