Système plasma basse pression Nano

Les systèmes plasma Nano peuvent être configurés suivants vos besoins, il s’agit d’un système modulaire. Les éléments suivant donnent un aperçu des options les plus courantes admissibles par les systèmes plasma Nano. Les systèmes plasma Nano sont utilisés principalement dans les domaines suivants:

  • Domaine Analytique
  • Domaine Archéologique
  • Automobile
  • Départements de Recherche et Développement
  • Technologie des semi-conducteurs
  • Petits 'batchs' de production
  • Industrie plastique
  • Technologie médicale
  • Technologie Systèmes Micro EletroMécaniques (‘MEMS’)
  • Capteurs
  • Stérilisation
  •  Industrie textile

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Equipement de base

  • L’encombrement du système dépend des composants et options choisies.
  • Volumes de chambre : 18 - 36 litres, en fonction de la version
  • Puissance d’alimentation: 230 V pour les systèmes de table, 400 V/3-phase pour les systèmes autonomes.

Alimentation en gaz

  • Débitmètres à flotteur à vanne pointeau
  • Débitmètres massiques (‘Mass Flow Controller’ : MFC)

Chambres à vide (de traitement)

  • Acier Inoxydable, Cylindrique, Accès par couvercle (env. ∅ 267 mm, L 420 mm ou L 600 mm)
  • Acier Inoxydable, Parallélépipède rectangle, Accès par porte (env. Larg. 240 x Prof 420 ou 600)
  • Aluminium, Cylindrique, Accès par couvercle ou porte (env. ∅ 240 mm, L 400 mm ou L 600 mm)
  • Tube Quartz (UHP), Cylindrique, Accès par couvercle ou porte (env. ∅ 240 mm, L 400 mm ou L 600 mm)
  • Tube verre borosilicate (UHP),  Accès par couvercle ou porte (env. ∅ 240 mm, L 400 mm ou L 600 mm)

Chargement - Portes substrats

  • Support de pièces (Option: refroidit par circulation d’eau), Récipient demi cylindre Quartz, tambour rotatif pour poudres, tambour rotatif pour pièces en vrac, plaque aluminium, plaque acier inoxydable, verre borosilicate, quartz.

Electrodes

  • Unique, ou niveaux multiples
  • RIE (‘Reactive Ion Etching’ ou Gravure Ionique Réactive)

Systèmes de Contrôle

  • Semi-automatique
  • Par PCCE (Microsoft Windows CE)
  • Par PC (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Mesure de Pression

  • Sonde de pression Pirani
  • Sonde de pression Baratron (pour la version « gaz corrosifs »)

Minuteur

  • Digital

Générateurs

Fréquences:40 kHz: Puissance 0 - 300 W; 0 - 1000 W
13,56 MHz: Puissance 0 - 100 W; 0 - 300 W
2,45 GHz: Puissance 0 - 600 W

La puissance de chacun des générateurs est ajustable à tout moment de 0 à 100%.

Pompes à vide

  • Plusieurs capacités de pompage et différents fabricants possibles (sur demande avec filtre à charbon actif)

Plus d’options

Pièces de rechanges, Jauge de pression, Options associées à la version "gaz corrosifs", bouteilles de gaz, Détendeur, Plaque chauffante, Affichage de la température, Chambre chauffante, Cage de Faraday, Accessoires pour plasma polymérisation, Encres de test, Générateur d'oxygène, Ventilation progressive, Pompage progressif, Bride porte-échantillon TEM, Contrats d’entretien/Services, Documentation fournie dans la langue du pays, Installation sur site incluant la formation. D'autres options sont disponibles sur demande.