Forschungsanlage Plasma System Bell Jar 35

Bel Jar 35 en fonctionnement
Bel Jar 35 équipement de recherche

Le système plasma de Bell Jar 35 est un outil de recherche qui a été développé pour des expériences scientifiques. En plus des procédés plasma standards (Nettoyage, Activation et ‘Etching’), ce système est adapté à l’élaboration de revêtements par évaporation thermique, pulvérisation cathodique, évaporation par faisceau d'électrons. Il permet la métallisation des échantillons avant observation MEB (Microscope Electronique à Balayage.

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Equipement de base

  • L’encombrement du système dépend des composants et options choisies.
  • Volume de chambre : env. 35 litres
  • Puissance d’alimentation: 230 V /16 A.

Alimentation en gaz

  • 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques (‘Mass Flow Controllers : MFCs’)

Chambre à vide (de traitement)

  • Cloche de verre borosilicate ∅ 315 mm x Haut. 500 mm

Source de pulvérisation

Une source de pulvérisation de 2" - 3" (50.8 – 76.2 mm) + obturateur (‘shutter’) (En réserve, un conduit et une entrée de gaz pour les procédés réactifs)

Porte substrat

  • ∅ 140 mm (optionnel : Rotatif, Chauffage ou Refroidissement du substrat)
  • Polarisable pour constituer une électrode pour une utilisation en mode prétraitement plasma (Nettoyage, Activation, Attaque-Gravure ‘Etching’)

Système de Contrôle

  • Par PC (Microsoft Windows XPe)

Mesure de Pression

  • Sonde de pression de type Pirani

Générateurs

Fréquences:40 kHz: Puissance 0 - 500 W
13,56 MHz: Puissance 0 - 300 W

 Source pour polarisation continue ‘DC Bias’ ou pulsée (unipolaire)

Puissance max. 300 W Tension max. 600 V Courant Continu

La puissance de chacun des générateurs est ajustable à tout moment de 0 à 100%.

Pompes à vide

  • Plusieurs capacités de pompage et différents fabricants possibles (sur demande avec filtre à charbon actif)

Plus d’options

Pièces de rechanges, Jauge de pression, Options associées à la version "gaz corrosifs", bouteilles de gaz, Détendeur, Plaque chauffante, Affichage de la température, Chambre chauffante, Cage de Faraday, Accessoires pour plasma polymérisation, Encres de test, Générateur d'oxygène, Ventilation progressive, Pompage progressif, Bride porte-échantillon TEM, Contrats d’entretien/Services, Documentation fournie dans la langue du pays, Installation sur site incluant la formation. D'autres options sont disponibles sur demande.