Système plasma "Low Cost" Atto

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ATTO 10.5-litres, UNITE PLASMA DE LABORATOIRE ‘LOW COST’, disponible avec système de contrôle manuel, PC ou PCCE, est principalement utilisée dans les domaines suivants:

  • Petits lots ‘batch’ de production,
  • Application analytiques (MEB, MET)
  • Technologie médicale
  • Stérilisation
  • Départements de Recherche et Développement
  • Domaine Archéologique
  • Industrie Textile
  • Industrie Plastique.

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Données techniques: Système de nettoyage plasma Atto à commande manuelle

Encombrement :Largeur 425 mm, Hauteur 275 mm, Longueur 450 mm

Chambre :Tube de verre, ∅ 211 mm, L 300 mm

Volume de la chambre :Env. 10,5 litres

Alimentation en gaz :Deux Canaux d’Alimentation en Gaz, Régulation par Débitmètres à Flotteur à vanne pointeau.

Générateur :40 kHz / Puissance 200 W ou 13,56 MHz / 50 W accord d’impédance fixe.

Pompe à vide :Capacité de pompage volumétrique: 2 m3 / h

Porte substrats :1 Système support de pièces

Contrôle :Manuel: la durée de traitement est définie par une Minuterie Analogique 'timer analog'.

Données techniques: Système de nettoyage plasma Atto à commande par PC externe

Encombrement : Largeur 525 mm, Hauteur 275 mm, Profondeur 450 mm

Chambre : Tube de verre, ∅ 211 mm, L 300 mm

Volume de la chambre : Env. 10,5 litres

Alimentation en gaz: Deux Canaux d’Alimentation en Gaz, Régulation par contrôleurs de débit massique ‘MFC : Mass Flow Controlers’.

Générateur : 40 kHz / Puissance 200 W ou  13,56 MHz / 50 W accord d’impédance fixe.

Pompe à vide: Capacité de pompage volumétrique: 2 m3 / h

Chargement de pièces: 1 Système support de pièces

Contrôle: Par PC externe (Microsoft Windows XP).

Données techniques: Système de nettoyage plasma Atto commande intégrée par PC renforcé

Encombrement : Largeur 525 mm, Hauteur 275 mm, Profondeur 450 mm

Chambre : Tube de verre, ∅ 211 mm, L 300 mm

Volume de la chambre : Env. 10,5 litres

Alimentation en gaz : Deux Canaux d’Alimentation en Gaz,Régulation par contrôleurs de débit massique ‘MFC : Mass Flow Controlers’.

Générateur : 40 kHz / Puissance 200 W ou 13,56 MHz / 50 W accord d’impédance fixe.

Pompe à vide : Capacité de pompage volumétrique: 2 m3 / h

Chargement de pièces : 1 Système support de pièces

Contrôle :Contrôle par PC renforcé et intégré (Microsoft Windows CE).

Données techniques: Système de nettoyage plasma Atto commande intégrée par PCCE renforcé

Encombrement : Largeur 525 mm, Hauteur 275 mm, Profondeur 450 mm

Chambre : Tube de verre, ∅ 211 mm, L 300 mm

Volume de la chambre : Env. 10,5 litres

Alimentation en gaz : Deux Canaux d’Alimentation en Gaz,Régulation par contrôleurs de débit massique ‘MFC : Mass Flow Controlers’.

Générateur : 40 kHz / Puissance 200 W ou 13,56 MHz / 50 W accord d’impédance fixe.

Pompe à vide : Capacité de pompage volumétrique: 2 m3 / h

Chargement de pièces : 1 Système support de pièces

Contrôle :Contrôle par PCCE renforcé et intégré (Microsoft Windows CE).