Options et Accessoires disponibles pour les systèmes plasma

Nos systèmes plasma sont disponibles avec les options / accessoires suivants, lesquels peuvent être installés dans la plupart des cas:

Générateur micro-ondes à 2,45 GHz (‘MW : microwave’)

La puissance varie de 0 à 850 Watts, le générateur dispose d'une interface PC. Les principaux domaines d'application du plasma micro-onde sont l'Activation, le Nettoyage, la Gravure (ou Attaque ou ‘Etching’), application aux semi-conducteurs (front-end et back-end) et Plasma Polymérisation.

Générateur Haute Fréquence à 13,56 MHz (’RF :Radio Fréquence’)

Afin de se conformer à la norme DIN EN 55011, nos générateurs 13,56 MHz sont stabilisés par quartz. Les modes d'adaptation d'impédance sont : fixée, à réglage manuel ou automatique. Les principaux domaines d'application du plasma RF sont le Nettoyage, l'Activation, la Gravure (=Attaque =‘Etching’), application aux semi-conducteurs (front-end et back-end) et plasma Polymérisation.

Générateur Basse Fréquence à 40 kHz

L’adaptation d'impédance n’est possible qu’en mode automatique, la sortie de puissance est disponible en deux versions. Les principales applications sont l'Activation, le Nettoyage, la Gravure, (=Attaque =‘Etching’), application aux semi-conducteurs (back-end) et plasma Polymérisation.

Valve 2/2 voies pour dosage des liquides.

Valve assurant la maitrise du dosage des monomères.

Filtre à charbon actif

Le filtre à charbon actif peut être facilement changé.

Filtre de protection de la pompe à vide sur ligne de pompage

Protège la pompe à vide des particules aspirées, provenant des résidus de contamination des surfaces ou du procédé de revêtement.

Porte automatique

Porte se fermant de façon automatique au lancement du procédé.

Lecteur de code barres

Suivi des 'batch' de production.

Chauffage de la chambre de traitement.

La chambre peut être chauffée jusqu’à environ 80°C. La température peut être régulée. Cette option est dédiée à des conditions de prédécédé définies et pour accroitre la vitesses d'attaque ('Etching').

Mesure de la tension de polarisation (‘Bias’)

Dispositif de mesure permettant l’appréciation de la tension de polarisation, disponible pour les générateurs kHz et MHz.

Bouteille à barboteur ("bulleur")

Le flacon barboteur est un des accessoires relatif à la plasma polymérisation, ce type de système est nécessaire au transport de certains monomères liquides jusque dans la chambre à vide. A la place de la bouteille de monomère simple, un gaz porteur est injecté dans la bouteille (barbotage – bullage), le gaz joue ainsi le rôle de support au monomère et transporte les molécules gazeuses du dit monomère jusque dans la chambre plasma.

Vanne papillon

La vanne papillon est utilisée afin de contrôler les flux de gaz dans la technique du vide, notamment l’écoulement dans la conduite d'aspiration de la pompe à vide. A cet effet, la résistance à l'écoulement dans la conduite (perte de charge) est modifiée par réglage de l’orientation d’un volet qui peut obturer le conduit à différents degrés. En d’autres termes, la vanne papillon peut être utilisée à des fins de contrôle de la pression dans la chambre en ajustant le flux de gaz aspiré par la pompe (en modulant la capacité de pompage du système).

Documentation version Française

La documentation est éditée conformément à la directive Machines 89/392 / CEE. Ce qui suit ne s’applique pas pour les langues allemande et anglaise. La version de la documentation dans votre langue (en Français) n’est pas automatiquement incluse avec le système, elle doit être demandée expressément.

Tonneau rotatif

Conteneur de substrats pour un traitement en vrac de pièces et matériaux (pulvérulents).

Jauges de pression

Jauges de pression de type Pirani ou Baratron – Affichage de la pression dans la chambre de traitement sous vide.

Détendeur (réducteur de pression)

Le détendeur est connecté à la bouteille de gaz 200 bars. Suivant les gaz, des détendeurs spécifiques peuvent être nécessaires. Ainsi, un type de détendeur est nécessaire pour les gaz nobles, H2, O2, CF4, C4F8 et un pour NH3.

Système continu

Pour intégrer un système plasma basse pression dans une ligne de production automatisée.

Kit de pièces de rechange, Standard ou PFPE

Le kit de pièces de rechange comprend 1 bague de serrage, 1 joint, 1 flexible en acier inoxydable (tube à vide), 1 fenêtre, 1 joint de porte, 10 fusibles miniatures pour le système plasma, ainsi que 1 litre d'huile minérale pour la pompe à vide avec le kit standard, et 1 litre d'huile PFPE pour la pompe à vide avec le kit PFPE (PFPE: PerFluoroPolyEther, huile fluorée type "Fomblin®" pour environnement agressif).

Imprimante d'étiquettes

Impression automatique d’étiquettes après traitement plasma.

Lecteur d'étiquettes

De façon à assurer le suivi, la traçabilité des lots.

Cage de Faraday

Pour les composants sensibles aux décharges électriques. Les pièces à traiter sont placées dans la cage de Faraday. Ceux-ci peuvent être retirés de la chambre à vide.

Système de fixation pour bouteilles de gaz

Pour fixer la bouteille de gaz à la table de travail, à l’étagère ou au mur. Sa largeur est de 70 mm. La sangle sécurise la bouteille sans générer d’encombrement. Il convient à toutes les tailles de bouteilles.

Détecteur de gaz (Dräger)

Option de sécurité supplémentaire lors de l'utilisation de gaz inflammables sur le lieu de travail.

Commande semi-automatique

Une description détaillée de nos différentes variantes de contrôle peut être trouvée sous l'élément de menu Systèmes Plasma / commandes / commande semi-automatique.

Plaques chauffante

Les pièces à traiter sont chauffées sur la plaque chauffante, laquelle peut être portée jusqu'à une température max. 150 ° C. Ce système est adapté à des conditions de procédé spécifiques et en vu d'obtenir des vitesses de gravure plus élevées. Deux options possibles:L’ensemble dispose d'un module d'affichage de la température, un capteur thermique est intégré au système de sorte que la température de surface du composant peut être mesurée à l'intérieur de la chambre à vide.La mesure de température est intégrée au système de contrôle par PC, un capteur thermique est également monté à l'intérieur de la chambre sous vide et mesure la température de surface du composant. La température s’affiche sur l'écran du PC.

Installation sur place de votre système plasma

Cette option comprend la durée de voyage, la durée de travail et les frais de déplacement de notre personnel de service.

Adaptations pour utilisation de gaz corrosifs

Vannes et ensemble des éléments de vide (tuyauterie) en acier inoxydable. Obligatoire pour la plasma polymérisation ou l’utilisation des gaz corrosifs tels que NH3, H2O, CF4, SF6.

Portes substrats dédiés aux utilisations clients

Nos systèmes sont toujours fournis avec un porte substrat standard. Afin de garantir une utilisation optimale du système de plasma, diverses versions de carrousels peuvent être conçues en consultation Diener Electronic.

Ensemble Bombes / Plaques de verre pour test ‘PWIS’*

* ‘PWIS’ : Paint Wetting Impairement Substances. ‘PWIS-Free’ = surface exempte de substances nocives pour le mouillage de la peinture.

Accessoires pour la réalisation du test ‘PWIS-Free’. Contenu de la livraison:5 bombes de peinture de chacune 400 ml.100 Plaques de verre de dimensions 90 mm x 110 mm.

Modération de la mise à l’air de la chambre à vide

La chambre à vide est remise à l’air de façon plus progressive par adjonction d’un filtre. Ce système empêche les composants de petites tailles de s’envoler inopinément dans la chambre.

Modération du pompage de la chambre à vide

Le pompage initial de la chambre s’effectue progressivement à l'aide d'une vanne de by-pass. Ce système empêche les petits composants de s’envoler inopinément dans la chambre.

Chambres à vide version longue (Femto, Pico, Nano, ...)

Les chambres de traitement sont disponibles en acier inoxydable, verre borosilicate ou quartz. La fermeture de la chambre peut s’effectuer à choix par un couvercle ou une porte (battante). La longueur des chambres à vide dépend de vos conditions d'application du plasma. Nous consulter.

Indicateur de puissance.

Affichage la puissance de sortie du générateur. Instrument analogique.

Electrodes multi-niveaux

Les électrodes sur plusieurs niveaux sont disponibles tant pour les chambres à vide cylindriques que parallélépipèdes rectangles. Elles permettent un traitement simultané et homogène de nombreuses pièces. Les domaines d'application sont les procédés plasma standards.Nous recommandons de consulter Diener Electronic pour la fabrication d’un système fonctionnel dédié à votre application, ainsi que concernant le choix des matériaux pour la fabrication du porte substrat.

Testeur de fuite de micro-ondes

Pour les systèmes plasma micro-ondes, en raison de la dangerosité du rayonnement micro-onde, il peut être recommandé d'installer un appareil de mesurant d’éventuelles fuites micro-ondes.

Bouteille à monomères

Accessoire relatif à la polymérisation plasma. Pour injection de monomères liquides dans la chambre de traitement sous vide.

Connexion réseau

Vous permet de connecter le système à un ordinateur.

OES ‘Optical Emission Spectrometer’

Ce spectromètre d’émission est utilisé en vue du suivi du procédé plasma à des fins d'assurance qualité. Détection de ‘points’ limites de fonctionnement du procédé plasma. Le spectromètre ('OES') n’est monté qu’en combinaison avec un système commandé par PC.

Contrôle par PC

Une description détaillée de nos différentes variantes de contrôle peut être trouvée sous l'élément de menu Systèmes Plasma / contrôles / contrôle par PC.

Contrôle PCCE

Ce système de contrôle est basé sur l’utilisation d’un écran tactile pour les commandes et fonctionne sous Windows CE. Une description détaillée de nos différentes variantes de contrôle peut être trouvée sous l'élément de menu Plasma systèmes de contrôle / commande / PCCE.

Accessoires pour plasma polymérisation

Cet ensemble comprend 1 bouteille de vaporisation, 1 balance, 1 pompe doseuse, 1 unité de chauffage et éventuellement un support.

Bouteilles de gaz de procédé

Dans des puretés appropriées à leur utilisation en tant que gaz de procédé: bouteilles d'Oxygène disponibles en 2, 5 et 10 litres, bouteille de 2 litres d'Hydrogène et de 5 litres pour l’Argon. Les conditions de transport spéciales sont prises en considération pour la livraison du gaz. En cas de location d’un système la bouteille doit être achetée.

Porte échantillon Quartz type "Bateau"

Disponibles en deux tailles. Pour les procédés de plasma de très haute pureté ou le traitement de wafers.

Électrodes RIE

Elles permettent d’atteindre des vitesses de gravure (d'Attaque: ‘Ething’) plus élevées, format circulaire et rectangulaire en acier inoxydable. Les champs d'application sont la gravure anisotrope et isotrope.

Électrode RIE avec douche de gaz

De forme rectangulaire en acier inoxydable. Permet d'atteindre des vitesses de gravure (Attaque : ‘Etching’) plus importante grâce à une distribution homogène du gaz. Champ d'application: gravure anisotrope.

Dispositif ‘Roll to Roll’.

Traitement en continu d’un rouleau à l’autre. Par ex. traitement de films / de bandes / fils.

Générateur d'oxygène

L'oxygène est obtenu à partir de l'air ambiant. Système Kröber O2. Production d'oxygène: 3-6 l / min.

Valve de sécurité

Lors de l’utilisation de gaz inflammables tels qu’Hydrogène, Acétylène, etc.

Électrodes et portes substrats spéciaux

Nous recommandons de consulter Diener Electronic pour la fabrication d’un système fonctionnel dédié à votre application, idem concernant le choix des matériaux pour la fabrication du porte substrat.

Brides spéciales / supplémentaires

Des brides spéciales peuvent être ajoutées lorsque plus de connexions que celles disponibles sont nécessaires.

Chambres de traitement sous vide spéciales

Conformément à la norme DIN 12198, une mesure du rayonnement UV a été réalisée sur nos systèmes (au niveau des fenêtres d'inspection). Résultat: aucune émission. Des chambres à vide spéciales sont disponibles dans des versions cylindrique avec couvercle, parallélépipède rectangle avec porte à charnière, elles sont fabriquées en aluminium et se différencies également par leur diamètre d'ouverture (accès) et leurs dimensions intérieures. Plus d'informations, nous consulter.

Electrodes standards, circulaire ou rectangulaire

Plaque d'acier inox / d'aluminium pour les procédés plasma standards.

Porte-échantillon TEM

Dispositif spécial pour introduction depuis l'extérieur de la chambre plasma. Possibilité de réalisation dans toutes les tailles. Laissez-nous les dimensions / dessins de vos pièces.

Dispositif de mesure de température avec affichage

Unité de mesure avec affichage de la température de la chambre sans plaque chauffante. Une sonde de température est montée à l'intérieur de la chambre. De cette façon, la température de surface de la pièce peut être évaluée. Pour un système contrôlé par PC, la mesure est intégrée au PC. Dans ce cas, la température s’affiche sur l'écran du PC.

Ensemble d'encres de test de tension de surface

Encres de test  pour une évaluation aisée de la tension superficielle. 28, 38, 56, 64, 72 et 105 mN / m sont inclus dans un ensemble. D'autres encres de valeur de tension de surface différente sont disponibles sur demande.

Evaporateur thermique

Pour les substances présentant une pression de vapeur faible. Coupe diamètre: 16 mm, avec un volume: 0,1 l. Blindage contre l'exposition au plasma, contrôle de température (max. 500 ° C) et de la vitesse de montée (jusqu'à 250 ° C / min). L'ensemble est monté sur une bride de petit diamètre.

Chambres de traitement sous vide en verre (borosilicate ou quartz)

Les chambres à vide en borosilicate sont préférentiellement destinées aux procédés plasma haute pureté. Les chambres à vide en quartz sont quant à elles plutôt destinées aux procédés plasma d’ultra-haute pureté.

Chambres de traitement en acier inoxydable

Les chambres en acier inoxydable sont destinées aux procédés plasma standards.

Groupes de pompage

Nos pompes à vide sont disponibles avec une huile minérale standard ou une huile PFPE (huile perfluorée type Fonblin®). Les pompes sont livrées prêtes à l’emploi (avec plein d'huile)

Contrôle entièrement automatique

Une description détaillée de nos différentes variantes de contrôle peut être trouvée sous l'élément de menu Systèmes Plasma / Contrôle / Commandes entièrement automatique.

Dispositif pour traitement des matériaux pulvérulents (poudres)

Les matériaux pulvérulents, poudreux sont traités dans une bouteille de gaz en rotation. Le flacon peut être retiré du système pour remplissage/vidange.

Sachet de lavage

Utilisé pour le pré-nettoyage de petites pièces en machine à laver. Dimensions: 500 mm x 300 mm. Quantité minimum: 20 pièces.

Refroidissement par eau

Système de refroidissement eau-air mobile, monté sur roulettes. Raccordement par deux contacts inverseurs libres de potentiel pour assurer la protection de la pompe du circuit d’eau.

Service de maintenance de votre système de plasma

L'offre de maintenance Diener comprend un service complet. Changement de l'huile de pompe, inspection de chacune des connexions, joints, bouchons, etc., test du taux de fuite, Calibrage de la/des jauges de pression et test de fonctionnement. Pour plus d'informations sur la maintenance et le service, cliquez sur le menu "Conseils / Service".

Machine à Laver-Sécher

Pour le nettoyage initial de petites pièces avant le traitement plasma. Seulement nécessaire pour les pièces très sales. Fabricant: Miele: Type WT 2670 WPM.

Système de refroidissement substrat par eau.

Il s’agit d’une plaque refroidie par circulation d'eau montée dans le fond de la chambre. L’ensemble comprend aussi une pompe et le réservoir d'eau. Ce système est utilisé pour le refroidissement des pièces particulièrement sensibles à la température.

Fonctions additionnelles du logiciel

Le logiciel particulièrement souple est apte à intégrer de nouvelles fonctions relatives aux options spécifiques de votre système. N’hésitez pas à nous faire part de vos demandes.

Lignes de gaz additionnelles

Nos systèmes peuvent être équipés d'un certain nombre de lignes de gaz additionnelles munies de débitmètres à flotteur . Le standard dans les systèmes plasma de type Femto est de 1 à 3 lignes, mais d'autres lignes peuvent être ajoutées sur demande.

Débitmètres massiques (‘MFC’) additionnels

L’utilisation de débitmètres massiques est obligatoire pour les systèmes contrôlés/pilotés par PC et  PCCE. Nos systèmes peuvent être équipés d'un certain nombre de lignes de gaz additionnelles munies de débitmètres massiques (MFC).