Tetra 30-LF avec contrôle automatique par PC. Conçue pour la production: Nettoyage, Activation et Gravure 'Etching'.

Système de location TETRA 30 LF-PC - Rapidement disponible

Le système de taille modeste Tetra 30 LF-PC, avec sa chambre de 30 litres et un contrôle totalement automatique, est utilisé en production dans les domaines du Nettoyage, de l'Activation et de l'Attaque (gravure) 'Etching' des surfaces.

 

Données techniques:

Encombrement armoire: Larg. 600 mm, Haut. 2200 mm, Prof. 850 mm

Chambre: Larg. 305 mm, Haut. 300 mm, Prof. 370 m(En option: Prof. 625 mm)

Volume de chambre: env. 34 litres

Alimentation en gaz: 3 lignes de gaz, régulation par débitmètres massiques ('MFCs: Mass Flow Controllers').

Générateur: 40 kHz/ 0 à 1000 W, continu(En option: 13.56 MHz or 2.45 GHz)

Chargement: Plus de 6 porte substrats (6 niveaux(En option: Tonneau rotatif)

Contrôle: Par PC sous Windows

Options/Accessoires