Petit Système PICO UHP: aussi recommandé pour le nettoyage de composants optiques.
Plasma dans une chambre à vide en Quartz. Plasma Pico UHP.

Système de location PICO UHP – Rapidement Disponible

Le système de laboratoire Pico de 5 litres, avec contrôle semi-automatique, est principalement utilisé dans les domaines suivants :

  • Petits ‘batchs’ de production
  • Domaine analytique (MEB, MET)
  • Technologie médicale
  • Départements de Recherche et Développement
  • Technologie des semi-conducteurs
  • Industrie Plastique

 

UHP pour 'Ultra High Purity' (ultra pur). Cette désignation s'applique aux chambres à vide en verre de nos systèmes plasma, elles peuvent être en verre Borosilicate ou Quartz selon la demande client. L'option UHP est disponible uniquement pour les systèmes suivants: Femto, Pico et Nano.

Les chambres en verre sont montées dans les systèmes micro-ondes et/ou dans le cadre d'applications nécessitant une surface ultra-pure. Comme tous les métaux soumis au plasma, les parois des chambres en acier inoxydable ou en aluminium subissent une très légère pulvérisation de leur surface. Pour la plupart des procédés, ce phénomène est tout à fait négligeable. Les pièces en aluminium utilisées pour les systèmes UHP sont anodisées (croissance de la couche d'Al2O3). La chambre et les autres éléments n'étant p en acier inoxydable, rend les systèmes UHP appropriés pour des applications dans lesquelles des traces de chrome, de nickel et de fer constituent une pollution.

Données techniques:

Encombrement armoire: Larg. 550 mm, Haut. 330 mm, Prof. 500 mm

Chambre: ∅ 150 mm, L 320 mmOuverture de chambre: ∅ 125 mmMatériaux de construction: Quartz ou verre borosilicateFace avant et arrière de la chambre: Aluminium

Volume de chambre: env. 4 litres

Alimentation en gaz: 2 lignes de gaz, régulation par débitmètres à flotteur à vanne pointeau.

Générateur: 40 kHz/ 0 à 100 W, continu (En option: 13.56 MHz or 2.45 GHz)#

Pompe à vide: Leybold, type Trivac D 2.5 B (2.5 m3/h)

Chargement: 1 porte substrat

Contrôle: Semi-automatique, durée de procédé via timer

Options/Accessoires