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Vue de l'Arrière
Générateur RF 300

Générateurs RF

Domaines d'application:

  • Plasma basse pression
  • Chauffage RF

Générateur RF 13.56 MHz, 300 W

  • Puissance RF nominale en sortie : 300 watts
  • Fréquence: 13.560 MHz ± 100 ppm
  • Puissance RF de sortie ajustable de : 0 à 300 watts, en continue
  • Générateur peut être pulsé avec une durée minimale de pulse: 5µs
  • Impédance: 50 Ohms
  • Stabilité RF: inférieure à 5% (dépend du système d’accord utilisé)
  • Système de protection en cas de mauvais accord d’impédance (depuis circuit ouvert jusqu’au court-circuit)
  • Décalage d’accord sans réduction de puissance: ROS = 1.2 (Rapport d’Onde Stationnaire)
  • RF commutable en pleine charge
  • Alimentation secteur 88 - 264 V AC/47 - 63 Hz (en liaison avec alimentation externe)
  • Consommation: max. 580 watts
  • Contrôle à distance : - RF On/Off - Paramètres de performance  RF (0...10 V = 0 ... 100 %) - Système d’ajustement automatique (‘match box’ auto) - PC ou intégré au système de contrôle général plasma.
  • Sortie RF: Prise jack N
  • Alimentation: connecteur CEI avec filtre.
  • Poids: approx. 18 kg

N’hésitez pas à nous contacter pour des conseils techniques sur ce système.