Plasma basse pression

Le plasma sous basse pression constitue un outil particulièrement polyvalent pour modifier les surfaces. Nettoyage final de composants contaminés, Activation de surface de pièces plastique, Attaque du PTFE, Gravure du silicium et Revêtement de pièces plastique par des films  proches du PTFE, figurent parmi les applications possibles. À cet égard, le plasma sous basse pression est utilisé dans de nombreux domaines où il est important de coller les matériaux ensembles ou pour modifier les propriétés de surface pour correspondre à vos besoins.

Dans la technologie de plasma sous basse pression, le gaz est excité sous vide par apport d'énergie. Il en résulte la formation d’espèces énergétiques ions, électrons, ainsi que d'autres particules réactives, lesquelles constituent le plasma. Les surfaces peuvent ainsi être modifiées efficacement. On distingue trois effets de plasma:

Micro-sablage: Les éléments de la surface sont éliminés par le bombardement ionique.

Réaction chimique: Réaction chimique du gaz ionisé avec la surface.

Rayonnement UV: le rayonnement UV décompose les longues chaines carbonées.

Les effets du plasma sont modifiés en faisant varier les paramètres du procédé tels que la pression, la puissance, la durée de traitement, le flux et la composition des gaz. Plusieurs effets peuvent être obtenus en un seul procédé.