Vide

Un vide technique n'est pas un volume exempt de toute matière, mais un volume de gaz Gazà basse pression, caractérisé par une augmentation importante du libre parcours des particules de gaz (distance de collision entre deux particules).

Alors que, sous la pression atmosphérique le libre parcours moyen entre deux impacts de particules est inférieure à 1 micron, il est plus de 10 cm en dessous de 10-3 mbar. Cela signifie que beaucoup de particules ne subissent aucun impact dans les dimensions de chambreChambre.

Par conséquent, dans un plasma basse pression, les espèces actives peuvent remplir le volume complet de la chambre sans subir aucune recombinaison causée par des collisions avec d'autres particules.

Le libre parcours moyen des particules dans un plasma basse pression est si important qu'un plasma homogène peut remplir la totalité du volume de la chambre
Les chambres à vide en acier inoxydable sont la norme dans la technologie plasma.